[发明专利]气流产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过对电极的电压施加来使气流产生的气流产生装置。

背景技术

在专利文献1中示出了通过对平行排列的多根线状电极施加周期性脉冲电压来使气流产生的装置。

参照图13以及图14对专利文献1示出的气流产生装置的结构例进行说明。图13的(A)是表示多根线状电极和对多根线状电极施加电压的电源的结构的图，图13的(B)是图13的(A)中的绝缘性基体的剖面图。图14是从图13的(A)所示的周期性脉冲电源40输出的电压波形图。

如图13的(A)、(B)所示，多根线状电极52平行且按恒定间隔地排列形成于绝缘性基体51的上表面。周期性脉冲电源40输出4相的脉冲电压V1～V4。线状电极52按其排列顺序每4根通用连接并且分别与周期性脉冲电源40连接。在绝缘性基体51的表面的整个面形成有电介质膜54以便覆盖线状电极52。

图14所示的4个波形是从图13的(A)所示的周期性脉冲电源40输出的4相的脉冲电压波形。对于各相的驱动电压而言，夹着0V的区间反复产生+V伏特的区间。相邻的相逐一偏移1/4周期。像这样，4相的脉冲电压的时间波形被各个作为持续恒定时间的阶跃脉冲而依次循环地输出。

专利文献1：日本特开2011-26096号公报

在图13所示的气流产生装置中，线状电极52按其排列顺序每4根通用连接并与4组引出电极53分别连接。为了实现该结构，在线状电极52或者引出电极53的中途的多个位置产生布线的交叉部。因此，例如使用将线状电极52和引出电极53的形成层分离并设置有层间连接导体(通孔导体)的多层基板，或者使用用绝缘体覆盖而成的导线，且必须使之立体交叉。即，不能用单层的电极图案构成线状电极以及引出电极。其结果是，存在制造成本增加的课题。

此外，上述气流产生装置为了使气流沿一方向产生而需要相数n为3以上，但上述课题在相数为4以外的情况下也相同地产生。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够用单层的电极图案构成线状电极以及引出电极的气流产生装置。

本发明的气流产生装置如以下那样构成。

(1)本发明的气流产生装置的特征在于，具备：

绝缘性基体；

多根线状电极，被排列在上述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖；

第1外部电极，与上述多根线状电极中的1根线状电极连接；

第2外部电极以及第3外部电极，上述第2外部电极与上述多根线状电极中的、远离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，上述第3外部电极与上述多根线状电极中的、远离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第偶数根的线状电极连接；以及

周期性脉冲电源，对上述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压，分别对上述第2外部电极以及上述第3外部电极以每一上述规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压。

根据后述所示的与动作相关的详细说明而变得清楚，根据上述结构，尽管被施加至线状电极的电压是2相的，但仍然产生恒定方向的气流。因此，通过对多根线状电极中的第奇数根的线状电极以及第偶数根的线状电极从相互对置的方向连接第2外部电极以及第3外部电极，能够不立体交叉地布线线状电极以及外部电极。

(2)连接上述第1外部电极的线状电极例如是配置在上述排列的第1端的线状电极。由此，从第1外部电极至与第1外部电极连接的线状电极的布线也不会与其他的线状电极以及第2及第3外部电极交叉。

(3)优选具备与上述多根线状电极中的配置在上述排列的第2端的线状电极连接的第4外部电极，上述周期性脉冲电源具备选择性地对上述第1外部电极或者上述第4外部电极施加上述壁电荷形成用脉冲电压的单元以及将上述2相的脉冲电压的相位反转的单元。即，根据该结构，能够选择使从所排列的多根线状电极的第1端向其他的线状电极的排列方向的气流产生的状态和相反地使从第2端向其他的线状电极的排列方向的气流产生的状态。

(4)优选上述2相的脉冲电压是占空比50％的矩形波，相互的上升与下降的时刻一致。即，由此，周期性脉冲电源的电路结构简化。另外，能够高效率地进行壁电荷的生成以及转移。

(5)上述2相的脉冲电压以每一上述规定周期当2次的比例产生。即，由此，能够将壁电荷的生成频率保持为较高，所以容易确保产生的气流的流量。

(6)优选上述壁电荷形成用脉冲电压的峰值比上述2相的脉冲电压的峰值高。即，由此，壁电荷的形成效率高，并且实现低消耗电力化。