[发明专利]固相粉末涂敷装置及涂敷方法

权利要求书

1.一种固相粉末涂敷装置，其特征在于，

包括：

输送管(10)，用于提供固相粉末(4)的输送通道；

气体供给管(15)，成为从气体供给装置(20)供给的供给气体的流路；

喷射喷嘴(30)，与上述输送管(10)或气体供给管(15)的末端相结合；

涂敷腔体(40)，用于收容上述喷射喷嘴(30)；

固相粉末供给部，用于向上述输送管(10)供给在维持大气压状态的环境中收容的固相粉末(4)；以及

压力调节装置(50)，用于调节上述涂敷腔体(40)的内部压力，

借助通过驱动上述压力调节装置(50)而形成的上述涂敷腔体(40)的负压，来使处于大气压状态的气体被上述输送管(10)所吸入，从而使吸入气体(1)和供给气体(2)一同被用作固相粉末(4)的输送气体(3)，

上述输送管(10)和气体供给管(15)分别使第一区间(10a)、(15a)、第二区间(10b)、(15b)及第三区间(10c)、(15c)依次连续形成，并且上述第一区间(10a)、(15a)至第三区间(10c)、(15c)的直径符合如下条件1)至条件3)中的一个，

条件1)：第一区间＝第二区间＝第三区间；

条件2)：第一区间≥第三区间≥第二区间；

条件3)：第三区间≥第一区间≥第二区间。

2.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，上述输送管(10)的一侧形成为开放于大气压的状态，从而使处于大气压状态的气体借助通过驱动上述压力调节装置(50)而形成的上述涂敷腔体(40)的负压，来向上述输送管(10)的开放的一侧吸入。

3.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，上述输送管(10)包括一个或两个以上的固相粉末供给部，上述固相粉末供给部用于向上述输送管(10)供给固相粉末(4)。

4.根据权利要求3所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，上述固相粉末供给部使得以大气压状态来储存的固相粉末(4)与上述吸入气体(1)一同向上述输送管(10)流入。

5.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括供给气体流量调节装置(25)，上述供给气体流量调节装置(25)用于调节上述供给气体(2)的流量。

6.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括供给气体温度调节装置，上述供给气体温度调节装置用于调节上述供给气体(2)的温度。

7.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括压力及温度测定装置(80)，设置于上述输送管(10)或气体供给管(15)及涂敷腔体(40)，上述压力及温度测定装置(80)用于实时测定压力和温度。

8.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括位置控制单元(70)，与上述喷射喷嘴(30)相结合，上述位置控制单元(70)用于调节与配置于上述涂敷腔体(40)内部的基材(5)之间的相对位置。

9.根据权利要求8所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，上述位置控制单元(70)由可动臂构成，上述可动臂与上述喷射喷嘴(30)相结合，从而能够进行直线运动、曲线运动、旋转运动。

10.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括基材托架(60)，设于上述涂敷腔体(40)的内部，上述基材托架(60)用于调节与上述喷射喷嘴(30)的相对位置。

11.根据权利要求10所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，上述基材托架(60)与可动臂相结合，上述可动臂能够进行直线运动、曲线运动、旋转运动。

12.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括涂敷腔体温度调节装置，上述涂敷腔体温度调节装置用于调节上述涂敷腔体(40)的内部温度。

13.根据权利要求1所述的固相粉末涂敷装置，其特征在于，还包括集尘装置，上述集尘装置用于对在向上述涂敷腔体(40)的内部喷射之后残留于涂敷腔体(40)内部的固相粉末(4)进行集尘。