[发明专利]搬送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搬送装置，能够沿包括曲线状路线的搬送路线搬送搭载了被搬送物的非自行式的搬送用台车，并且在上述搬送路线的整个区域或者一部分上形成与上述搬送用台车连续的台面。

背景技术

作为能够沿搬送路线搬送搭载了被搬送物的搬送用台车并且形成供作业人员乘坐并进行作业的连续的作业台面(作业平面)的搬送装置，具有如下所述的装置：在使搬送用台车(1)的端部彼此相互抵接而形成连续的作业台面的直线状的作业线(后推(对应日语：後押し)行驶区间(3))中，通过台车连结装置(台车连结机构(9)、连结开始机构(10)、连结解除机构(11))将前后的搬送用台车(1，1)设成连结的状态并通过后推用驱动机构(5A)前进恒速搬送，在将从上述作业线出来的搬送用台车(1)送回到上述作业线的进口的返程线(高速行驶区间(4))中，解除从上述作业线出来的搬送用台车(1)的连结并通过高速驱动机构(5C)以高速进行搬送(例如，参照专利文献1。)。

另外，具有如下所述的装置：将搬送用台车(可动体(10))的相对置的前后部间经由连结装置(30)在横向上相对转动自如地连结，通过搬送用台车组(可动体(10)组)和连结装置(30)组形成列车状的环状连续体(90)，并通过进给装置(50)来进行驱动(例如，参照专利文献2。)。

进而，具有如下所述的装置：相对搬送方向将搬送用台车(托盘(2))分割成多个，以使各分割搬送用台车(分割托盘(2A、2B、2C))在水平面内以相互能够转动的方式进行连结，并且将上述搬送用台车的搬送方式设置为如在后续的上述搬送用台车碰撞到前方行进的上述搬送用台车时后续的上述搬送用台车进行后推那样的自由流动(free flow)方式(例如，参照专利文献3。)。

进而另外，具有如下所述的装置：通过位于单台或者多台的台车体(1A、1B)以及上述台车体(1A、1B)的搬送方向前侧或者后侧且能够与上述台车体(1A、1B)绕垂直轴相对转动地连结的连结台车体(2A、2B)来构成搬送用台车(1)的各个台车，将上述台车体(1A、1B)的上表面以及上述连结台车体(2A、2B)的上表面设成大致同一水平面，设置将位于搬送方向前后的搬送用台车(1，1)间连结的连结机构(C)，通过连结机构(C)连结搬送用台车的多个台车(1，1，…)来作为搬送用台车组(A)并配置于包括曲线状路线(C1)的搬送路线，构成以恒速搬送搬送用台车组(A)并将上述台车体(1A、1B)以及上述连结台车体(2A、2B)的上表面设为作业台面(B)来进行部件组装作业的作业线(L1)，并且，设置将搬送用台车组(A)的搬送方向前端的搬送用台车(1)分离并以高速进行搬送且与搬送用台车组(A)的后端连结的送回线(L2)，在该送回线(L2)上，针对从搬送用台车组(A)分离后的单体的搬送用台车(1)进行被搬送物(W)的卸载作业以及新的被搬送物(W)的装载作业(例如，参照专利文献4。)。

另外，作为在半导体制造线上输送硅晶片的晶片移载装置，具有如下所述装置：通过液体驱动源(6)引起加入到作为循环流路的流体路线(5)的纯水(4)向一定方向流动，通过该流动，使搭载收纳了硅晶片(1，1，…)的晶片载体(2)并在纯水(5)上漂浮的浮子(3)沿流体路线(5)移动，在制造装置(9a、9b)附近，用浮子挡块(7a、7b)使其停止，通过机械手(8a、8b)来进行从浮子(3)向制造装置(9a、9b)的晶片载体(2)的搬入、以及从制造装置(9a、9b)向浮子(3)的晶片载体(2)的搬出(例如，参照专利文献5。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－117079号公报

专利文献2：日本特开平08－282481号公报

专利文献3：日本特开2007－112605号公报

专利文献4：日本特开2013－107731号公报

专利文献5：日本特开昭63－102238号公报

发明内容

发明所要解决的问题

如专利文献1那样的搬送装置是在直线状的作业线以外(返程线)解除搬送用台车的连结并通过高速驱动机构以高速进行搬送的构成，所以在直线状的作业线以外不能够形成供作业人员乘坐并进行作业的连续的作业台面(作业平面)，因此，作业效率以及空间利用率变差。

另外，如专利文献2那样的搬送装置是通过进给装置来驱动列车状的环状连续体整体的构成，所以在对于搬送用台车进行被搬送物的装卸时，需要使环状连续体整体停止，因此，作业效率变差。