[发明专利]质量分析装置和质量分析装置的控制方法有效
申请号: | 201480037476.0 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN105359251A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 山本昭夫;渡边敏光;大月繁夫;加岛一树;矢乃仓利明 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/26 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 范胜杰;文志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 质量 分析 装置 控制 方法 | ||
技术领域
本发明涉及质量分析装置和质量分析装置的控制方法。
背景技术
作为迅速判定试样中包含的微量物质的成分的装置,需要小型轻量的质量分析装置(经常也简称为MS)。尤其是作为违禁药物、爆炸物的探测装置的市场正在扩大。质量分析装置是把作为分析对象的试样中的分子离子化,利用电场、磁场进行质量分离,用检测器检测分离后的离子。
作为把试样中的分子离子化的方式,APCI(AtmosphericPressureChemicalIonizationSource大气压化学电离)、电子轰击离子化法、辉光放电等正进入实用阶段,但存在离子化效率低、发生碎裂等很多不足,为了应对这些不足需要进行高精度的调整,装置容易变得大型化。相对于此,作为在离子化效率、碎裂方面有优势的比较新的方法,近年来开始研究大气压介质阻挡放电方式。该阻挡放电经由电介质阻挡向导入了试样的气压接近大气压的放电部施加脉冲状或正弦波状的高电压从而使其流过放电电流,把试样中的分子离子化。
作为在离子化部中使用了阻挡放电的质量分析装置,有专利文献1(日本特开2012-104247号公报),专利文献2(PCT/US2008/065245),专利文献3(PCT/JP2009/060653)中记载的技术。
专利文献1提供了小型轻量,可进行高精度的质量分析的质量分析装置,具有为了把测定试样离子化而把从外部流入的气体离子化的离子源、对离子化后的测定试样进行分离的质量分析部,在离子源中使用阻挡放电。专利文献1具有用于抑制离子源取入的气体的流量的抑制单元、对离子源取入的气体的流动进行开关的开关单元,使从外部导入的气体间歇地流入离子化部,通过在100Pa~10000Pa的比大气压低的压力下使阻挡放电部也间歇地动作,由此来谋求高效化和小型化。
专利文献2记载了以下的方式:在质量分析装置中利用阻挡放电在大气压下将试样离子化,通过将离子化的试样不连续地导入质量分析部,获得高效化。
专利文献3记载了通过在阻挡放电部的电极结构上下工夫,提高试样的离子化效率的方式。
虽然不是与阻挡放电相关的例子,但作为放电部的稳定化方法,关于检测放电电流的装置,具有专利文献4(日本特开2011-232071号公报)、专利文献5(日本特开2008-53020号公报)中公开的装置。
专利文献4检测放电部的放电电流,仅在流过放电电流的期间对装置内的离子化电流进行积分,由此进行S/N高的离子化电流检测。
专利文献5记载了以下的方式:在质量分析装置中,为了使基于APCI(大气压化学电离法)的离子化稳定,并且为了降低噪声水平,检测流过放电电极的电流,以其成为预定的电流的方式控制施加电压,由此谋求低噪声化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-104247号公报
专利文献2:PCT/US2008/065245
专利文献3:PCT/JP2009/060653
专利文献4:日本特开2011-232071号公报
专利文献5:日本特开2008-53020号公报
发明内容
发明要解决的问题
通过实验认识到阻挡放电因周围环境而产生以下问题:放电开始时的施加高压电压发生波动,从开始施加高压电压起到放电开始为止的时间发生波动。
在现有技术文献中,实施了通过离子化部的压力降低,离子源的间歇动作,离子源的电极结构的优化等提高离子化效率,或者检测放电电流,控制施加电压以使该放电电流成为预定的放电电流,或者仅在流过放电电流的期间测量离子化电流,提高测量值的S/N等措施,但没有关注放电开始电压的波动和放电开始时间的波动。
另外,在使离子源间歇动作的质量分析装置中,通过间歇性地多次向低压的大气施加高电压引起阻挡放电来使大气电离,利用该电离体将被测定物离子化从而进行质量分析。由于多次施加的高电压各自的施加期间恒定,所以像上述说明的那样,当从开始施加高压电压起到放电开始为止的时间发生波动时,进行阻挡放电的期间因各期间不同而发生波动,离子化的被测定物的量发生变动,存在质量分析结果的精度降低等问题。
因此,本发明的目的在于,提供一种对进行离子化的被测定物的量的变动、质量分析结果的精度降低进行抑制的质量分析装置和质量分析装置的控制方法。
用于解决问题的手段
为了解决上述问题,采用例如权利要求中记载的结构。
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