[发明专利]用于对电测试件进行电测试的测试设备

权利要求书

1.一种用于对电测试件(2)、特别是晶片进行电测试的测试设备(1)，具有测试头(4)，在所述测试头中安装有至少一个用于与所述测试件(2)进行电物理接触的测试触点(5)，其特征在于，在所述测试头(4)的壁(15)中设置至少一个出口(13)，用于将气体、特别是保护气体散布到接触区域(14)中。

2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备(1)包括具有连接接触面(8)的接触装置(3)，所述连接接触面与所述测试触点(5)的背向所述测试件(2)的一侧(7)是能电连接的或被电连接。

3.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述接触装置(3)和所述测试头(4)是测试卡、特别是竖直测试卡的一部分。

4.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述壁(15)是所述测试头(4)的导引板(16)的一部分，在所述导引板中设置至少一个导向凹口(17)，所述测试触点(5)支承在所述导向凹口中。

5.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，构成所述出口(13)的出口通道(13′)贯穿所述导引板(16)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，在所述测试头(4)中设置与所述出口(13)流动连接的腔室(20)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述腔室(20)被至少一个测试触点(5)贯穿。

8.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述腔室(20)至少局部地通过所述导引板(16)限定。

9.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述出口(13)通过所述腔室(20)与保护气体供应管道(21，22)流动连接。

10.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述连接接触面(8)被配属于所述接触装置(3)的触点间隙变换器(10)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述保护气体供应管道(21，22)延伸穿过所述接触装置(3)，特别是延伸穿过所述触点间隙变换器(10)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述保护气体供应管道(21，22)穿过所述测试头(4)的侧壁(19)或穿过面向所述接触装置(3)的保持板(18)通入所述腔室(20)。

13.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述出口通道(13′)具有纵向中轴线(25)，所述纵向中轴线垂直于所述导引板(16)或相对于所述导引板成角度。

14.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述出口通道(13′)沿其纵向中轴线(25)具有恒定的穿流横截面。

15.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述出口通道(13′)沿其纵向中轴线(25)具有扩大或缩小的穿流横截面。

16.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述出口(13)和/或所述出口通道(13′)在横截面中观察是矩形、圆形或椭圆形的。

17.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述导向凹口(17)配属于测试区域(27)，在所述测试区域中，所述测试触点(5)在所述测试头(4)的面向所述测试件(2)的一侧从所述导向凹口(17)突出。

18.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，为所述测试区域(27)配设多个导向凹口(17)。

19.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述多个导向凹口(17)沿着封闭的线设置。

20.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，在所述测试头(4)上设有多个测试区域(27)。

21.根据前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于，所述测试区域至少部分地被所述出口(13)或被多个出口(13)围住。