[发明专利]电容式微机械加速度传感器

权利要求书

1.一种电容式微机械加速度传感器，包括：

衬底(1)，

第一传感器(2)，用于测量沿着与所述衬底(1)的平面(3)垂直的z轴的加速度，

第二传感器(4)，用于测量沿着x轴、或沿着y轴、或沿着x轴和y轴的加速度，其中所述x轴和所述y轴与所述衬底(1)的所述平面(3)平行，并且所述y轴垂直于所述x轴，

第三传感器(5)，用于测量沿着y轴、或沿着x轴、或沿着x轴和y轴的加速度，

其中，所述第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)，以及

其中所述转子电极(6)在转子锚定点(16)处被可移动地锚定到所述衬底(1)，

其特征在于，

具有第一端(9)和第二端(11)的第一梁(8)，所述第一端(9)通过第一弹簧结构(10)在第一连接点(47)处连接到转子电极支承结构(19)，所述转子电极支承结构(19)被锚定到所述衬底(1)，所述第二端(11)在第二连接点(48)处连接到所述第一传感器(2)的所述转子电极(6)，

具有第一端(13)和第二端(15)的第二梁(12)，所述第一端(13)通过第二弹簧结构(14)在第三连接点(49)处连接到所述转子电极支承结构(19)，所述转子电极支承结构(19)被锚定到所述衬底(1)，所述第二端(15)在第四连接点(50)处连接到所述第一传感器(2)的所述转子电极(6)，

所述第一梁(8)和所述第二梁(12)与所述加速度传感器的中心轴(A)平行，

所述第二传感器(4)位于第一空间(17)中，所述第一空间(17)由所述第一梁(8)、所述第一传感器(2)、所述转子电极支承结构(19)和所述加速度传感器的所述中心轴(A)限定，以及

所述第三传感器(5)位于第二空间(18)中，所述第二空间(18)由所述第二梁(12)、所述第一传感器(2)、所述转子电极支承结构(19)和所述加速度传感器的所述中心轴(A)限定。

2.如权利要求1所述的电容式微机械加速度传感器，其特征在于，

所述定子电极(7)在定子锚定点(51；29，30)处被锚定到所述衬底(1)。

3.如权利要求1或2所述的电容式微机械加速度传感器，其特征在于，

所述转子电极支承结构(19)在转子锚定点(16)处被刚性地锚定到所述衬底(1)，

所述转子锚定点(16)位于与所述加速度传感器的所述中心轴(A)垂直的第一虚线(B)上，

所述转子电极(6)被定位成接触所述第一连接点(47)并与所述第一连接点(47)相关，所述第一连接点(47)在与所述加速度传感器的所述中心轴(A)垂直的第二虚线(G)后面，以及

当在平行于所述加速度传感器的所述中心轴(A)的方向上测量所述第一连接点(47)和所述第一虚线(B)之间的距离H以及所述第一连接点(47)和所述第二虚线(G)之间的距离E时，所述距离H是所述距离E的50％以上。

4.如权利要求3所述的电容式微机械加速度传感器，其特征在于，当在平行于所述加速度传感器的所述中心轴(A)的方向上测量所述第一连接点(47)和所述第一虚线(B)之间的距离H以及所述第一连接点(47)和所述第二虚线(G)之间的距离E时，距离H是距离E的66％以上。