[发明专利]薄膜形成方法以及薄膜形成装置

说明书

本发明提供一种薄膜形成方法以及薄膜形成装置。沿基板(10)表面的应形成薄膜图案的预定区域(11)的边缘(12)形成脊状的阻挡结构(14)。形成阻挡结构(14)之后，使光固化性的液态的薄膜材料液滴化并着落于预定区域(11)内，然后对着落于预定区域(11)的薄膜材料照射临时固化用光以使其临时固化，从而形成膜要件(15A)。将光固化性的液态的薄膜材料涂布于膜要件(15A)之上而形成液态膜(16)。对液态膜(16)以及膜要件(15A)照射光强度比临时固化用光的光强度更强的正式固化用光，以使液态膜(16)固化，并且提高膜要件(16)的固化度。

技术领域

本发明涉及一种在基板上形成薄膜图案的薄膜形成方法以及薄膜形成装置。

背景技术

已知有如下技术，即，从喷嘴头朝向基板的表面吐出经液滴化的光固化性的液态的薄膜材料，并对涂布于基板的薄膜材料进行固化，由此形成薄膜图案(例如，专利文献1、专利文献2)。

在这种薄膜形成技术中，例如，作为基板使用印刷基板，作为薄膜材料使用阻焊剂。印刷基板包括基材以及配线，并且在规定位置钎焊电子元件等。阻焊剂使要钎焊电子元件等的导体部分暴露，覆盖无需钎焊的部分。与在整个表面涂布阻焊剂之后利用光蚀刻技术形成开口的方法相比，可实现制造成本的降低。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-104104号公报

专利文献2：日本特开2012-86194号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

作为薄膜材料使用光固化性(例如，紫外线固化性)的树脂。若经液滴化的薄膜材料着落于基板，则薄膜材料会向面内方向扩散。若薄膜材料向面内方向扩散，则会导致应形成的薄膜图案的分辨率降低。为了抑制薄膜图案的分辨率降低，优选在使液滴着落之后迅速对薄膜材料照射光以使其固化。然而，在涂满薄膜的区域，若在液滴着落之后迅速使薄膜材料固化，则会导致反映各个液滴的形状的凹凸残留在薄膜的表面。

本发明的目的在于提供一种在薄膜表面不易产生凹凸的薄膜形成方法以及薄膜形成装置。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一个观点，提供一种薄膜形成方法，其具有：

沿基板表面的应形成薄膜图案的预定区域的边缘形成脊状的阻挡结构的工序；

形成所述阻挡结构之后，使光固化性的液态的薄膜材料液滴化并着落于所述预定区域内，然后对着落于所述预定区域的薄膜材料照射临时固化用光以使其临时固化，从而形成膜要件的工序；

在所述膜要件之上涂布光固化性的液态的薄膜材料而形成液态膜的工序；及

对所述液态膜以及所述膜要件照射光强度比所述临时固化用光的光强度更强的正式固化用光，以使所述液态膜固化，并且提高所述膜要件的固化度的工序。

根据本发明的另一观点，提供一种薄膜形成装置，其具有：

保持基板的载物台；

多个喷嘴头，具备多个喷嘴孔，该多个喷嘴孔与保持在所述载物台上的基板对置，并且朝向所述基板吐出经液滴化的光固化性的液态的薄膜材料；

多个临时固化用光源，对从所述喷嘴头吐出而涂布于所述基板上的所述薄膜材料照射临时固化用光；

移动机构，使包括所述喷嘴头以及所述临时固化用光源的喷嘴单元和所述基板中的一方相对于另一方向与所述基板表面平行的第1方向移动；

正式固化用光源，对所述基板照射正式固化用光；及