[发明专利]运行流化床反应器的方法

权利要求书

1.一种在由硅和HCl、或由硅和H₂/四氯硅烷制备三氯硅烷的运行中，或在由三氯硅烷制备硅的运行中，运行流化床反应器的方法，包括：在吹洗(a)中在室温下在10至500Nm³/h的气体流速下用惰性气体对反应器和输气管进行吹洗0.5至10小时；然后在吹洗(b)中用被气体加热器加热至100-1000℃的H₂对反应器和输气管进行吹洗，其中所述吹洗以200至1000Nm³/h的气体流速进行2至100小时；以及然后在吹洗(c)中用被气体加热器加热至100-1000℃的三氯硅烷或含三氯硅烷的混合物对反应器和输气管进行吹洗2至50小时，使用这样的吹洗气体的量，使得基于通过流化床的总气体的量，三氯硅烷或三氯硅烷混合物的浓度为10mol％至50mol％，以及基于通过反应气体喷嘴的总气体的量，所述三氯硅烷或所述三氯硅烷混合物的浓度为20mol％至50mol％。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在按照(a)-(b)-(c)顺序的吹洗操作之后，由含有三氯硅烷的反应气体，在种子颗粒上沉积多晶硅。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述反应气体包括氢气和三氯硅烷。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，包括在反应气体包括三氯硅烷的情况下，在种子颗粒上沉积多晶硅，随后终止含三氯硅烷的反应气体的供给，在吹洗(b)中，用被气体加热器加热至100-1000℃的H₂对所述反应器和所述输气管进行吹洗，其中所述吹洗以50至800Nm³/h的气体流速进行1至20小时，以及然后在室温下以10至500Nm³/h的气体流速用惰性气体对所述反应器和所述输气管进行吹洗1至20小时，以及然后打开和拆解所述反应器。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述反应器随后被重组，并加入种子颗粒。

6.根据权利要求5所述的方法，包括在所述反应器的拆解和重组之间，用惰性气体对反应器和输气管进行进一步的吹洗。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述吹洗(a)、(b)、(c)中的一个或多个通过变压吹洗来增强。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述惰性气体是氮气或稀有气体。