[发明专利]对参数追踪的计量系统优化

权利要求书

1.一种用于计量系统的方法，所述方法包括：

接收测量模型，所述测量模型表征计量系统对计量目标的测量的响应，其中所述测量模型包含一或多个所关注参数及一或多个系统参数，所述一或多个所关注参数表征所述计量目标，所述一或多个系统参数表征所述计量系统；

确定与横跨与所述计量目标相关的所要过程窗的所述一或多个所关注参数中的任何者相关的一组已知值；

基于所述测量模型的一组模拟而确定一组经扰动合成测量信号，所述测量模型的一组模拟表征所述计量目标的一组测量，所述一组测量是针对所述一或多个所关注参数中的任何者的所述一组已知值中的每一者及至少一个扰动信号；

基于所述组经扰动合成测量信号确定与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的估计值；

基于与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述估计值及与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述已知值确定指示所述计量系统的参数追踪性能的度量；以及

将所述度量存储在存储器中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个扰动信号指示所述计量系统的系统扰动。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个扰动信号指示所述计量系统的随机扰动。

4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变所述测量模型的参数化。

5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变计量目标结构。

6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变所述计量系统的结构。

7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变所述计量系统的测量模态的组合。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述基于所述组合成测量信号确定与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述估计值包括将所述测量模型参数化变换为一组主分量。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述所关注参数中的至少一者为过程参数。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述估计值包括所述测量模型的非线性回归。

11.一种计量系统，其包括：

照明源；

检测器；以及

计算系统，其经配置以：

接收测量模型，所述测量模型表征计量系统对计量目标的测量的响应，其中所述测量模型包含一或多个所关注参数及一或多个系统参数，所述一或多个所关注参数表征所述计量目标，所述一或多个系统参数表征所述计量系统；

确定与横跨与所述计量目标相关的所要过程窗的所述一或多个所关注参数中的任何者相关的一组已知值；

基于所述测量模型的一组模拟而确定一组经扰动合成测量信号，所述测量模型的一组模拟表征所述计量目标的一组测量，所述一组测量是针对所述一或多个所关注参数中的任何者的所述一组已知值中的每一者及至少一个扰动信号；

基于所述组经扰动合成测量信号确定与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的估计值；

基于与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述估计值及与所述一或多个所关注参数中的每一者相关的所述已知值确定指示所述计量系统的参数追踪性能的度量；以及

将所述度量存储在存储器中。

12.根据权利要求11所述的计量系统，其中所述计算系统进一步经配置以：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变所述测量模型的参数化。

13.根据权利要求11所述的计量系统，其中所述计算系统进一步经配置以：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变计量目标结构。

14.根据权利要求11所述的计量系统，其中所述计算系统进一步经配置以：

基于指示所述计量系统的参数追踪性能的所述度量的值改变所述计量系统的结构。