[发明专利]一种涂布的电晕电离源的方法与设备

权利要求书

1.一种电晕电离源组合，包括：

细线材，该细线材包括：

含有第一材料的线材芯，所述含有第一材料的线材芯包含铂铑合金线材；

含有第二材料的线材涂层，其中，所述线材涂层包裹部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径；

其中，被包裹的两部分所述线材芯用于机械地牢固位于该两部分之间的未被包裹的部分所述线材芯。

2.根据权利要求1所述的电晕电离源，其中，含有第一材料的所述线材芯包含铂、铂合金、金、铱或钨。

3.根据权利要求1所述的电晕电离源，其中，所述线材芯包含直径小于100微米的线材芯。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的电晕电离源，其中，含有第二材料的所述线材涂层包含镍钴合金。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的电晕电离源，其中，含有第二材料的所述线材涂层包含直径小于100微米的线材涂层。

6.根据权利要求1-3中任意一项所述的电晕电离源，其中，进一步包含耦合到至少一个固定标杆上的细线材。

7.一种检测系统，包括：

包括细线材的电晕电离源组合，该电晕电离源组合包括：

含有第一材料的线材芯，所述含有第一材料的线材芯包含铂铑合金线材；

含有第二材料的线材涂层，其中，所述线材涂层包裹部分所述线材芯，且所述线材涂层的直径大于所述线材芯的直径；

其中被包裹的两部分所述线材芯用于机械地牢固位于该两部分之间的未被包裹的部分所述线材芯；

分析器；和

检测器。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其中，含有第一材料的所述线材芯包含铂、铂合金、金、铱或钨。

9.根据权利要求7所述的检测系统，其中，所述线材芯包含直径小于100微米的线材芯。

10.根据权利要求7-9中任意一项所述的检测系统，其中，含有第二材料的所述线材涂层包含镍钴合金。

11.根据权利要求7-9中任意一项所述的检测系统，其中，含有第二材料的所述线材涂层包含铜、镍、铁或金属合金。

12.根据权利要求7-9中任意一项所述的检测系统，其中，该检测系统包括离子迁移光谱仪系统或质谱仪系统中的至少一种。

13.一种制作包括细线材的电晕电离源组合的方法，所述方法包括：

形成铂铑合金线材芯；

形成包裹所述线材芯的线材涂层；

在至少部分所述线材涂层上形成遮罩层；

蚀刻所述线材涂层；和

从所述线材涂层上去除所述遮罩层以形成所述细线材；

使用被包裹的两部分所述线材芯机械地牢固位于该两部分之间的未被包裹的部分所述线材芯。

14.根据权利要求13所述的制作电晕电离源组合的方法，其中，形成包裹所述线材芯的线材涂层包括在所述铂铑合金线材芯上电解沉积镍钴合金。

15.根据权利要求13所述的制作电晕电离源组合的方法，其中，形成包裹所述线材芯的线材涂层包括将线材芯插入所述线材涂层的管中。

16.根据权利要求13所述的制作电晕电离源组合的方法，其中，形成包裹所述线材芯的线材涂层包括使用气相沉积或等离子体沉积中的至少一种。

17.根据权利要求13-16中任意一项所述的制作电晕电离源组合的方法，其中，形成遮罩层包括形成抗蚀刻层。

18.根据权利要求13-16中任意一项所述的制作电晕电离源组合的方法，其中，蚀刻所述线材涂层包括使用硝酸蚀刻剂。