[发明专利]片构件搬运装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种支承片构件的端部而进行搬运以及检查的片构件搬运装置、片构件支承装置、片构件检查装置以及片构件搬运方法。

背景技术

众所周知，正在开发一种在以平板显示器、太阳能电池等为代表的平板玻璃产品的制造工序中以纵姿态搬运平板玻璃的同时进行加工、检查的技术。

然而，近年来，以产品的轻量化等为目的而对平板玻璃的薄壁化的要求不断提高，以至于例如大量地制造板厚为300μm以下那样的薄板玻璃。基于该状况，在如上述那样搬运平板玻璃的情况下会产生如下的问题。

详细而言，平板玻璃因薄壁化而变得容易变形，因此在以纵姿态进行搬运的情况下，例如，因该平板玻璃的表面侧与背面侧之间的气压差等而容易产生摆动，并且摆动的振幅容易变大。当这样的摆动变大时，平板玻璃中含有的微小裂缝发展而变得容易破损。另外，当进行利用相机等摄像装置的检查时，若平板玻璃的摆动的振幅变大，则因摆动而在板厚方向上位移了的部位变得容易脱离摄像装置的焦点，从而有时无法准确地检查缺陷的有无。对此，在专利文献1中公开了用于解决这些问题的技术。

在该文献中公开了如下的片构件搬运装置，所述片构件搬运装置将沿着一个边部相互分离排列的多个把持单元设为一组把持单元组，由两组把持单元组对纵姿态的平板玻璃的上边部与下边部进行把持，沿着边部的长度方向搬运平板玻璃，两组把持单元组在对平板玻璃的上边部与下边部进行把持的状态下，使拉力作用于两边部的彼此之间。

根据这样的结构，能够沿平板玻璃的上下方向使拉力作用于搬运中的平板玻璃。因此，期待通过该拉力能够抑制摆动的振幅变大，并且若利用该装置实施平板玻璃的检查，则能够使缺陷的检测精度提高。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2009-236771号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，专利文献1所公开的装置存在改善的余地。即，根据该装置，由于使拉力作用在平板玻璃的整个面上，因此当搬运中的平板玻璃因摆动而弯曲时，拉伸应力作用于弯曲的部位。因此，在该部位含有微小裂缝的情况下，存在该裂缝因拉伸应力而发展，从而平板玻璃变得容易破损的可能性。另外，由于对把持单元施力而使拉力作用在平板玻璃上，因此存在把持单元与平板玻璃容易滑动，从而平板玻璃容易滑落而破损的问题。

鉴于上述情况而完成的本发明的目的在于，抑制对片构件进行支承以及搬运时的摆动，从而抑制片构件的破损等。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而完成的本发明所涉及的片构件搬运装置具备：对片构件进行支承的支承单元、和通过使支承单元移动而搬运片构件的移动单元，所述片构件搬运装置的特征在于，支承单元具备变形支承单元，所述变形支承单元分别对片构件的对置的一侧端部与另一侧端部进行支承，并且通过使片构件局部地弯曲变形而形成横切片构件的主面的凸条部或凹条部。

根据上述结构，能够抑制搬运片构件时的摆动以及破损。具体而言，通过在片构件上形成有凸条部(或者凹条部)，从而片构件的面刚性提高而变得不易变形。因此，能够在不使拉力等作用的情况下抑制片构件的摆动。另外，在片构件上传播的面振动在凸条部处衰减或者消失，因此能够抑制该面振动。通过像这样抑制片构件的摆动、振动，能够抑制片构件的破损。

在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选变形支承单元具备分别对片构件的一侧端部以及另一侧端部进行夹持的一对夹持构件，夹持构件具有构成为能够相互嵌合的弯曲凹部以及弯曲凸部，通过在嵌合的弯曲凹部以及弯曲凸部之间的间隙夹持片构件而形成所述凸条部或凹条部。

根据这样的结构，能够以结构简单的构件容易地形成凸条部(或凹条部)。需要说明的是，优选片构件的对置的一侧端部以及另一侧端部的一对夹持构件分别设置在对置的位置。

在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选弯曲凹部以及弯曲凸部中的至少任一方由弹性构件构成。

根据这样的结构，在由夹持构件夹持片构件时，由于能够通过夹持构件弹性变形来防止片构件的局部的变形，因此能够防止片构件破损。

在本发明所涉及的片构件搬运装置中，优选所述片构件搬运装置具备多个变形支承单元，在片构件上平行地形成多个凸条部或凹条部。

根据这样的结构，能够进一步提高片构件的弯曲刚性，从而能够有效地抑制片构件的摆动。

本发明所涉及的片构件搬运装置优选还具备不使片构件变形地对片构件的端部进行夹持并支承的多个平坦支承单元。