[发明专利]固体摄像装置

说明书

固体摄像装置(1A)包含受光部(20)、不需要载子捕获部(30)、及垂直移位寄存器(60)。不需要载子捕获部(30)具有在受光部(20)与垂直移位寄存器(60)间的区域内配置于各行的载子捕获区域(DA₁～DA_M)。载子捕获区域(DA₁～DA_M)包含晶体管及光电二极管。晶体管的一端与光电二极管连接，另一端与电荷排出用配线(R_d)连接。电荷排出用配线(R_d)与基准电位线(GND)短路。由此，实现了可使邻接于虚设光电二极管的像素的输出特性或噪声的大小接近其它像素的固体摄像装置。

技术领域

本发明涉及固体摄像装置。

背景技术

在专利文献1中记载有与放射线摄像装置相关的技术。该装置具备：传感器阵列，其将包含将来自被摄体的放射线转换成电信号的转换元件、及将电信号传送至外部的传送开关的多个像素配置成二维状而形成。另外，该装置具备：多条栅极线，其在行方向连接传感器阵列的各像素；栅极驱动装置，其为了读出与各栅极线连接的各像素的电信号而驱动各栅极线；多条信号线，其在列方向连接传感器阵列的各像素；及多个放大器，其与各信号线对应设置，放大且读出自各传送开关传送的电信号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-50053号公报

发明内容

发明所要解决的问题

固体摄像装置具有将多个像素遍及多行及多列地配置成二维状的受光部。在各像素配置用以将入射的光转换成电子的光电二极管。各像素的光电二极管经由开关电路(例如晶体管)与配设于各列的读出用配线连接，存储于光电二极管内的电荷通过使开关电路成为导通状态而流出至读出用配线。电荷通过读出用配线到达积分电路，且在积分电路中转换成电压信号。用以控制各像素的开关电路的导通状态的控制端子(例如栅极端子)与配设于各行的行选择用配线连接。再有，通过将来自移位寄存器的信号经由行选择用配线赋予各开关电路的控制端子，而分别在各行进行来自各像素的电荷的读出。

在具备此种构成的固体摄像装置中，不仅受光部，光也入射于受光部的周围的区域。另外，例如固体摄像装置作为X射线摄像装置被使用的情况下，即使由闪烁器覆盖受光部的周围的区域，透过闪烁器的X射线及来自闪烁器的闪烁光也入射于受光部的周围的区域。由此，在受光部的周围的区域产生不需要电荷(载子)。尤其，因与受光部排列配置的移位寄存器具有某程度的面积，因而在形成有移位寄存器的区域中产生较多的不需要载子。

若移位寄存器中产生的不需要载子流入至受光部，则会导致噪声与来自邻接于移位寄存器的像素的输出重叠。为避免此种现象，可考虑在移位寄存器与受光部间的区域，配置用以吸收不需要载子的光电二极管(虚设光电二极管)，且使该虚设光电二极管与基准电位线(接地配线)短路。

然而，该方式具有如下课题。通常，在受光部中彼此邻接的像素间，存在由这些光电二极管间产生的耦合电容等所引起的串扰。另外，在各像素中，在经由开关电路彼此连结的光电二极管与行选择用配线之间存在寄生电容，该寄生电容也对串扰产生影响。然而，因上述虚设光电二极管中未设置开关电路，因而不产生此种寄生电容。因此，对于邻接于虚设光电二极管的像素而言，与其它像素比较，串扰的程度不同，来自邻接于虚设光电二极管的像素的输出特性或噪声的大小与其它像素不同。

本发明是有鉴于此种问题而完成的发明，其目的在于，提供一种可使邻接于虚设光电二极管的像素的输出特性或噪声的大小接近于其它像素的固体摄像装置。

解决问题的技术手段