[发明专利]带有固化膜的透明基材的制造方法、感光性树脂组合物、感光性元件及电子部件

说明书

技术领域

本发明涉及带有固化膜的透明基材的制造方法、该方法中使用的感光性树脂组合物及感光性元件以及电子部件。

背景技术

从个人计算机、电视等大型电子设备到汽车导航装置、手机、电子辞典等小型电子设备、OA、FA设备等显示设备等中均使用液晶显示元件或触摸面板(触摸传感器)。这些液晶显示元件或触摸面板中设有由透明导电电极材料构成的电极。作为透明导电电极材料，已知氧化铟锡(Indium-Tin-Oxide：ITO)、氧化铟或氧化锡。这些材料由于显示高的可见光透过率，因此作为液晶显示元件用基板等中使用的电极材料成为主流。

触摸面板已经实用化了各种方式。近年来，静电电容方式的触摸面板的利用有所发展。静电电容方式触摸面板中，当作为导电体的指尖接触到触摸输入面时，静电电容在指尖与导电膜之间结合、形成电容器。因此，静电电容方式触摸面板通过捕捉指尖接触位置处的电荷变化来检测其坐标。

特别是投影型静电电容方式的触摸面板由于能够进行指尖的多点检测，因此具备可进行复杂指示这一良好的操作性。投影型静电电容方式的触摸面板由于其操作性良好，因此作为手机、便携型音乐播放器等具有小型显示装置的设备中的显示面上的输入装置，利用有所发展。

一般来说，投影型静电电容方式的触摸面板中，为了表现由X轴和Y轴构成的2维坐标，多个X电极和正交于该X电极的多个Y电极形成了2层结构。作为这些电极，使用ITO。

然而，触摸面板的边框区域是无法检测到触摸位置的区域，因此缩窄该边框区域的面积是用于提高产品价值的重要要素。边框区域上，为了传递触摸位置的检测信号而需要金属配线，但为了谋求边框面积的狭小化，需要缩窄金属配线的宽度。一般来说，金属配线使用铜。

但是，在上述的触摸面板中，被指尖接触到时，有时水分、盐分等腐蚀成分会从传感区域侵入到内部。当腐蚀成分侵入到触摸面板的内部时，有金属配线发生腐蚀、电极与驱动用电路之间的电阻增加、或者断线的危险。

为了防止金属配线的腐蚀，公开了在金属上形成有绝缘膜等固化膜的静电电容方式的投影型触摸面板(例如专利文献1)。该触摸面板中，利用等离子体化学气相沉积法(等离子体CVD法)在金属上形成二氧化硅层，防止了金属的腐蚀。但是，该手法由于使用等离子体CVD法，因此具有需要高温处理、基材受限这样制造成本提高等问题。

作为在需要的部位设置抗蚀膜等固化膜的方法，已知在规定的基材上设置由感光性树脂组合物形成的感光层并对该感光层进行曝光、显影的方法(例如专利文献2～4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-28594号公报

专利文献2：日本特开平7-253666号公报

专利文献3：日本特开2005-99647号公报

专利文献4：日本特开平11-133617号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

利用感光性树脂组合物的固化膜制作与等离子体CVD法相比，可以期待成本的削减。但是，当在触摸面板用基材等透明基材上形成固化膜时，如果固化膜的厚度大，则有时有膜的部位与没有膜的部位的高度差会变得明显。因此，优选固化膜尽量地薄。但是，还没有在厚度10μm以下的水平下对由感光性树脂组合物形成的膜的防锈性进行过探讨的例子。

另外，在触摸面板的制造工序中，有时会对触摸面板自身施加负荷。特别是，在将保护膜等固化膜设置在挠性显示器基板上等时，伴随着基板的弯曲，对保护膜等固化膜的负担也增大，易于产生龟裂。

本发明的目的在于提供在规定的透明基材上具有即便是薄的膜也具有所希望的膜特性、耐开裂性优异的固化膜的带有固化膜的透明基材的制造方法、以及可以形成这种固化膜的感光性树脂组合物及感光性元件以及具备带有固化膜的透明基材的电子部件。

用于解决技术问题的方法

为了解决上述课题，本发明人们进行了深入研究，结果发现，含有粘合剂聚合物、特定的光聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂组合物具有充分的显影性，同时通过光固化所形成的膜即便是薄的膜(例如10μm以下)也显示充分的防锈性，可以充分地防止铜等金属的腐蚀，耐开裂性优异，从而完成了本发明。