[发明专利]用于测量样品的散射的设备有效
申请号: | 201480031509.0 | 申请日: | 2014-04-07 |
公开(公告)号: | CN105393106B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 格特·辛恩;克劳斯-亨利克·米滕茨韦 | 申请(专利权)人: | 罗姆有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/53 | 分类号: | G01N21/53 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测量 样品 散射 设备 | ||
1.一种用于测量样品(2)的散射的设备,所述设备具有:
-用于接收所述样品(2)的散射辐射的至少一个第一散射接收器(16)和第二散射接收器(17);
-用于接收在朝向所述样品(2)的边界面处镜面反射的辐射的至少一个折射接收器(15)和/或用于接收透射穿过所述样品的辐射的至少一个透射接收器(18),和
-至少一个成像元件(6),经由所述成像元件,辐射能够到达至所述样品(2)并且从所述样品(2)到达至所述散射接收器(16,17),
其特征在于,
所述第一散射接收器(16)和所述第二散射接收器(17)设置在共同的平坦的或者至少近似球形弯曲的面(3)中,所述面垂直于所述成像元件(6)的光轴取向,其中所述第一散射接收器(16)构成和设置用于接收所述样品(2)的饱和的散射辐射,并且所述第二散射接收器(17)构成和设置用于接收所述样品(2)的线性的散射辐射,其中所述第一散射接收器设置为,使得所述第一散射接收器与所述第二散射接收器相比接收出自所述样品的更大体积的散射辐射,其中所述折射接收器(15)和/或所述透射接收器(18)同样设置在共同的平坦的或者至少近似球形弯曲的面(3)中,
设有设置在所述散射接收器(16,17)的所述面(3)中的第一辐射源(4a),其中所述第一散射接收器(16)直接接近所述第一辐射源(4a)地设置,并且所述第二散射接收器(17)直接接近所述折射接收器(15)地设置,所述设备包括第一保护元件(7),所述第一保护元件设置在所述样品(2)的朝向所述散射接收器(16,17)的一侧上,并且其中所述折射接收器构成用于接收在所述第一保护元件(7)的样品侧的边界面处镜面反射的辐射。
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述面(3)在所述成像元件(6)的焦平面中伸展,在所述面中设置有所述散射接收器(16,17)。
3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二散射接收器(17)设置为,使得所述第二散射接收器接收出自所述样品(2)的能预设的体积的散射辐射。
4.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二散射接收器(17)设置为,使得所述第二散射接收器接收出自所述样品(2)的能预设的体积的散射辐射,其中能预设的所述体积通过如下方式预设:由所述第一辐射源(4a)产生的辐射的横截面和/或所述散射辐射的横截面由光阑确定。
5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二散射接收器(17)设置为,使得所述第二散射接收器接收出自所述样品(2)的能预设的体积的散射辐射,其中能预设的所述体积通过所述成像元件(6)距共同的所述面(3)和/或距所述样品(2)的间距确定。
6.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一散射接收器(16)与所述第二散射接收器(17)相比离所述第一辐射源(4a)更近地设置。
7.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二散射接收器(17)与所述第一散射接收器(16)相比离所述折射接收器(15)更近地设置。
8.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,设有第二保护元件(8),所述第二保护元件设置在所述样品(2)的背离所述散射接收器(16,17)的一侧上。
9.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,设有反射器(9),所述反射器设置在所述样品(2)的背离所述散射接收器(16,17)的一侧上。
10.根据权利要求9所述的设备,其特征在于,所述反射器(9)是镜面反射的或者是漫反射的。
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