[发明专利]用于微机械麦克风的多层复合式背板有效
| 申请号： | 201480030794.4 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN105247890B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | J·W·津恩;B·M·戴蒙德 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 微机 麦克风 多层 复合 背板 | ||
1.一种MEMS装置，该装置包括：
膜；
加强式背板，其具有多个开口，所述加强式背板包括第一层和第二层，其中，所述第一层与所述第二层彼此没有物理接触；和
定位在第一层和第二层之间的互连层，所述互连层将所述第一层耦接至所述第二层。
2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第二层为加强式背板提供了增加的强度，从而使得开口之间能够具有更薄的联接区段，且与没有由第二层提供增加的强度的情况相比，能够包括更多、更小的开口。
3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一层由复合的薄材料层构造。
4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第二层由复合的薄材料层构造。
5.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一层和第二层中的至少一个由堆叠的氮化钛、钛、铝铜合金、钛和氮化钛构造。
6.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一层和第二层中的至少一个是电绝缘材料。
7.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层与第一层和第二层相比由不同的材料构造。
8.根据权利要求7所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层由CMOS通路材料构造。
9.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层与第一层和第二层相比宽度更小。
10.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一层和第二层具有不同的宽度。
11.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，该MEMS装置还包括经由第二互连层耦接至第一层或第二层的第三层。
12.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层由离散式连接部制成。
13.根据权利要求12所述的MEMS装置，其特征在于，所述离散式连接部是圆形柱。
14.根据权利要求13所述的MEMS装置，其特征在于，所述圆形柱是实心的。
15.根据权利要求13所述的MEMS装置，其特征在于，所述圆形柱是中空的。
16.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层是单个连续式壁。
17.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层包括多个连续式壁区段。
18.根据权利要求17所述的MEMS装置，其特征在于，所述多个连续式壁区段由第一材料构造，所述第一材料包封由第二材料构造的其他互连层区域。
19.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层由第一层和第二层包封。
20.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一层和第二层中的一个包括释放孔。
21.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述互连层包括较窄的第一部分和较宽的第二部分。
22.根据权利要求21所述的MEMS装置，其特征在于，所述较宽的第二部分与第一层或第二层相比宽度相同。
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