[发明专利]固态阻抗调谐器

权利要求书

1.一种电子自动化固态阻抗调谐器或阻抗调谐器系统，被配置成向被测设备(DUT)呈现阻抗并且在测量系统中实现根据这样的阻抗来测量所述被测设备的性能，所述固态阻抗调谐器或阻抗调谐器系统包括：

单个外壳结构；

多个固态调谐器模块，每个模块包括至少一个固态控制元件；并且其中

所述调谐器模块级联在一起并且布置在所述单个外壳结构中；

其中所述多个固态调谐器模块被配置为连接到所述被测设备的一个端口，使得所述多个固态调谐器模块仅向所述被测设备的一个端口呈现阻抗。

2.根据权利要求1所述的电子自动化固态阻抗调谐器或阻抗调谐器系统，其中每个调谐器模块包括包含数目N个控制元件的至少一个控制元件阵列。

3.根据权利要求2所述的电子自动化固态阻抗调谐器或阻抗调谐器系统，其中每个控制元件被配置成单独地或者与其他控制元件同时地被调谐到传导状态以产生具有固定的幅度和相位的特定的阻抗。

4.一种在RF频率可操作的固态阻抗调谐器或调谐器系统，包括：

第一RF端口和第二RF端口；

多个固态调谐器模块，其中所述多个固态调谐器模块中的至少一个固态调谐器模块包括控制元件阵列，被配置成具有被同时打开以实现期望的阻抗状态的多个固态控制元件；

所述阻抗调谐器或调谐器系统被配置成向被测设备(DUT)呈现阻抗并且在测量系统中实现根据这样的阻抗来测量所述被测设备的性能；

其中所述多个固态调谐器模块被电级联在一起并且被配置为连接到所述被测设备的一个端口，使得所述多个固态调谐器模块仅向所述被测设备的一个端口呈现阻抗。

5.根据权利要求4所述的阻抗调谐器或调谐器系统，其中：

所述控制元件阵列包括沿着RF传输线布置并且通过传输线分段与相邻的控制元件分离的N个固态控制元件S1……SN；以及

每个控制元件由控制线L1……LN来控制；

并且所述阻抗调谐器或调谐器系统还包括：

控制器，被配置成通过向对应的控制线施加控制信号以改变由所述控制元件阵列在所述第一RF端口处呈现的阻抗来选择性地打开或关闭每个控制元件；

所述控制器被配置成选择性地同时打开多个控制元件以实现所述期望的阻抗状态。

6.根据权利要求5所述的阻抗调谐器或调谐器系统，其中被选择性地同时打开的所述多个控制元件是连续的控制元件。

7.一种用于测量被测设备(DUT)的特性的测量系统，包括：

至少一个固态调谐器或调谐器系统，包括至少两个固态调谐器模块，所述至少两个固态调谐器模块电级联在一起并且布置在单个外壳结构中；并且

其中所述至少两个固态调谐器模块中的每一个至少包括固态控制元件；

所述至少一个固态调谐器或调谐器系统被配置成选择性地向被测设备(DUT)呈现不同的阻抗并且实现通过所述测量系统根据这样的阻抗来测量所述被测设备的性能；

其中所述至少两个固态调谐器模块被配置为连接到所述被测设备的一个端口，使得所述至少两个固态调谐器模块仅向所述被测设备的一个端口呈现阻抗。

8.一种以标准化系统架构配置的调谐器模块卡，所述卡包括：

底盘板；

至少两个固态调谐器模块，电级联在一起并且集成在所述卡上并且被支承在所述底盘板上或者由所述底盘板来支承，所述至少两个固态调谐器模块中的每个固态调谐器模块包括至少一个固态控制元件；

底盘电连接器，电连接到所述至少两个固态调谐器模块并且被配置用于到背板底盘上的对应的背板连接器的连接以供应电功率和控制信号来操作所述至少两个固态调谐器模块；

其中所述至少两个固态调谐器模块被配置为连接到被测设备(DUT)的一个端口，使得所述至少两个固态调谐器模块仅向所述被测设备的一个端口呈现阻抗。