[发明专利]用于制造颗粒状多晶硅的方法

权利要求书

1.一种用于在流化床反应器中制造颗粒状多晶硅的方法，包括：借助被加热到600-1200℃温度的流化床中的进料的流化气体流化硅颗粒，加入含硅反应气体以及在所述硅颗粒上沉积硅，借此形成颗粒状多晶硅，随后将所述多晶硅从所述反应器中移除，并还移除废气，其中所移除的废气用于加热流化气体或反应气体，或用于在热交换器中加热水介质。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，被加热的所述水介质用于产生电或蒸汽或用于加热具有低于所加热的水介质的温度的其他介质。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，使用H₂、N₂、Ar或SiCl₄作为所述流化气体，以及使用硅烷(SiH_4-nX_n，n＝0-4，X＝卤素)或硅烷与H₂、N₂、Ar或SiCl₄的混合物作为所述反应气体。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，被移除的废气用于加热流化气体或反应气体，以及用于在热交换器中加热冷却水流。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，另外，被移除的颗粒状多晶硅用于加热所述流化气体。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，在容器或导管中，流化气体围绕所述颗粒状多晶硅流动，并且在此过程中热量以直接接触被释放给所述流化气体。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述废气用于加热硅颗粒，其中热交换是通过以下方式进行：在容器或导管中废气围绕所述硅颗粒流动，并且在此过程中所述硅颗粒以直接接触从所述废气中吸取热量。

8.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中，所述废气加热两个进料的气流，即流化气体和反应气体，其中使用两个热交换器。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，使用双联管热交换器或管束热交换器作为热交换器。