[发明专利]光谱显微镜装置

权利要求书

1.一种光谱显微镜装置，包括：

光谱检测单元，包括能够控制输出波长的光源，设有被从光源输出的光照射的观察区域的显微镜部分，以及检测来自观察区域的光作为光谱数据的信号检测器；

移动单元，配置成移动观察区域；以及

控制器，执行控制操作以允许光谱检测单元和移动单元响应于彼此而移动，其中光谱显微镜装置被控制以使得在观察区域移动时和在观察区域移动停止时执行在基于测量点的数量的不同测量条件之间的切换，其中在观察区域移动时由移动单元移动观察区域并执行测量，在观察区域移动停止时观察区域固定并执行测量。

2.如权利要求1所述的光谱显微镜装置，其中，在观察区域移动停止时的测量点的数量比在观察区域移动时的测量点的数量大。

3.如权利要求1所述的光谱显微镜装置，其中，控制器包括被配置成分析由光谱检测单元检测的光谱数据并将分析结果作为光谱图像输出的分析单元。

4.如权利要求3所述的光谱显微镜装置，其中，由控制器输出的光谱图像是通过分析基于从光源输出的光的至少两个波数的光谱数据而获得的。

5.如权利要求3或权利要求4所述的光谱显微镜装置，还包括被配置成显示由控制器输出的光谱图像的显示器。

6.如权利要求1到5中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，光谱检测单元能够检测基于非线性光学现象的信号。

7.如权利要求1到6中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，光源包括输出两个不同波长的两个光源。

8.如权利要求7所述的光谱显微镜装置，其中，光谱检测单元能够检测非线性拉曼散射信号。

9.如权利要求1到8中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，观察区域是一维观察区域到三维观察区域中的任意一个。

10.如权利要求1到9中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，在观察区域移动时和在观察区域固定并被测量的观察区域移动停止时，执行在基于测量点的数量的不同测量条件之间的切换，并且

基于对相同的测量波数多次执行测量并积分输出信号时的积分次数的测量条件被切换到不同的测量条件。

11.如权利要求10所述的光谱显微镜装置，其中，在观察区域移动停止时的测量点的数量比在观察区域移动时的测量点的数量大，并且

其中，在观察区域移动停止时的积分次数比在观察区域移动时的积分次数大。

12.如权利要求3到11中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，控制器被配置成执行控制操作以允许分析单元和移动单元响应于彼此而移动，并且在观察区域移动停止时和在观察区域移动时执行在分析条件之间的切换。

13.如权利要求12所述的光谱显微镜装置，其中，当在分析条件之间进行切换时，通过至少在观察区域移动停止时执行主成分分析或独立成分分析来执行多变量分析。

14.如权利要求1到13中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，切换的分析条件是从相同类型或不同类型的多变量分析技术中选出的，并且在观察区域移动时的分析结果被用于在观察区域移动停止时的分析。

15.如权利要求1到14中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，在观察区域移动停止时的测量条件是基于在观察区域移动时的测量结果而设置的。

16.如权利要求1到17中任一项所述的光谱显微镜装置，其中，在观察区域移动时，在依次移动通过窄的区域的同时窄的区域被测量，并且这些区域的观察结果的预览作为宽的区域的图像被显示，在该宽的区域的图像中，结果被并排提供以维持试样上的观察位置之间的关系，并且其中，测量的目标区域通过固定观察位置而从其预览被显示的区域中被选出。

17.如权利要求12或13所述的光谱显微镜装置，其中，测量单元或分析单元被配置以使得使用FPGA或ASIC来执行处理操作。