[发明专利]转速传感器和用于运行转速传感器的方法

说明书

本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。

技术领域

本发明涉及一种转速传感器。

背景技术

所述转速传感器普遍已知。例如，已知探测转速传感器的转速的微机械转速传感器。所述转速传感器通常由两个能振动的质量块组成，它们也称作科里奥利元件或者部分振动器。所述部分振动器例如被驱动成反向平行或者相反相位的驱动模式，其中在施加有转速的转速传感器中通过科里奥利力激励部分振动器的反向平行或者相反相位的探测振动。部分振动器的探测振动容性地被检测并且借助分析处理电子器件产生转速信号。所述转速传感器的部分振动器的驱动振动或者探测振动例如可以是线性振动或者旋转振动，其中部分振动器在旋转振动的情形中也称作旋转元件。

然而，所述已知的转速传感器除反向平行或者相反相位的驱动模式和/或探测模式以外附加地具有相对大量的干扰模式，所述干扰模式可能干扰转速信号的探测。

此外，已知的转速传感器具有相对大量的微机械组件，这使所述微机械转速传感器、尤其多通道转速传感器的制造复杂化并且变得昂贵。

发明内容

因此本发明的任务在于，提供一种转速传感器和一种用于运行转速传感器的方法，其不具有现有技术的不利并且相对于干扰加速度不敏感，其具有少的干扰模式并且其制造被简化。

本发明提出一种转速传感器，其用于探测所述转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中，所述旋转轴线在所述转速传感器的驱动平面内延伸，其中，所述转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于所述驱动平面运动的驱动结构，其中，所述第一旋转元件能够围绕第一旋转中心被驱动成平行于所述驱动平面的第一旋转振动，其中，所述第二旋转元件能够围绕第二旋转中心被驱动成平行于所述驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，所述驱动结构与所述第一旋转元件和所述第二旋转元件耦合，其中，所述驱动结构配置用于产生所述第一旋转振动和所述第二旋转振动的相反相位的驱动模式，其中，所述驱动结构能够沿着驱动方向线性运动地布置，其中，所述驱动结构构造为完全包围所述第一旋转元件和所述第二旋转元件的驱动框。此外，本发明还提出一种用于运行所述转速传感器以探测所述转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动的方法。