[发明专利]封闭式X射线成像系统有效
| 申请号: | 201480027452.7 | 申请日: | 2014-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN105264362B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
| 发明(设计)人: | K·苏祖基;D·希尔顿 | 申请(专利权)人: | 尼康计量公众有限公司 |
| 主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 王英;刘炳胜 |
| 地址: | 比利*** | 国省代码: | 比利时;BE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 封闭物 样品底座 气候控制系统 可操作 门打开 门关闭 样品架 正压差 封闭 外部 气候 访问 | ||
1.一种X射线成像系统,包括:
X射线源;
X射线探测器;
样品底座,其用于将样品架置于在所述X射线源与所述X射线探测器之间的射束路径中;
封闭物,其至少将所述样品底座封闭在所述封闭物的内部;以及
气候控制系统,其用于调节所述封闭物里面的气候,其中:
所述封闭物具有孔径,所述孔径用于使得能够从所述封闭物外面对至少所述样品底座进行访问;
所述封闭物被提供有门,所述门能在打开位置与关闭位置之间操作,在所述打开位置中所述孔径打开,在所述关闭位置中所述孔径被所述门关闭;并且
所述气候控制系统能提供在所述封闭物的所述内部与所述封闭物的外部之间的正压差,使得当所述门打开时,所述封闭物的所述内部被维持在比所述封闭物的所述外部更高的压力,其中,所述气候控制系统被配置为探测在其中所述门打开的状况,并且被配置为在所述门打开时提供所述正压差。
2.如权利要求1所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括处于所述封闭物里面并且被布置为提供内部温度测量的至少一个温度传感器。
3.如权利要求2所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括处于所述封闭物里面的多个温度传感器,每个温度传感器被布置为提供在所述封闭物中的一个位置处的局部内部温度测量,并且其中,所述气候控制系统被布置为基于所述局部内部温度测量来确定内部温度测量。
4.如权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括处于所述封闭物里面并且被布置为提供内部压力测量的压力传感器。
5.如权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括处于所述封闭物外面并且被布置为提供外部压力测量的压力传感器。
6.如权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括差分压力传感器,所述差分压力传感器被布置为提供在所述封闭物的所述内部与所述外部之间的压差测量。
7.根据权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括空气调节器,所述空气调节器被布置为至少调节所述封闭物里面的空气的温度。
8.根据权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括鼓风机,所述鼓风机被布置为从所述封闭物外面抽吸空气并将所抽吸的空气供应到所述封闭物的所述内部以提供所述正压差。
9.如权利要求7所述的X射线成像系统,其中,所述空气调节器包括温度调节器,所述温度调节器用于调节从所述封闭物外面被供应到所述封闭物的所述内部的空气的温度。
10.如权利要求8所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统包括空气流量调节器,所述空气流量调节器用于调节由所述鼓风机从所述封闭物外面供应到所述封闭物的所述内部的空气的流量。
11.如权利要求9所述的X射线成像系统,其中,所述温度调节器包括被布置为调节所述封闭物里面的温度的另外的空气调节器。
12.如权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统被配置为探测当所述封闭物里面的温度超过预定阈值或降到预定阈值以下时的状况,并且被配置为在所述温度超过所述预定阈值或降到所述预定阈值以下时提供所述正压差。
13.如权利要求1-3中的任一项所述的X射线成像系统,其中,所述气候控制系统被配置为探测当所述封闭物里面的温度超过预定阈值或降到预定阈值以下时的状况,并且被配置为在所述温度超过所述预定阈值或降到所述预定阈值以下时调整从所述封闭物外面被供应到所述封闭物的所述内部的空气的温度。
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