[发明专利]x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件

权利要求书

1.一种电子束发生器，包括：

真空外壳(110)；

布置在所述外壳中的高电压发生器(120)，所述高电压发生器包括：

输出电极(123a)；

具有第一端部和第二端部的延长绝缘套管(124)；

第一电压倍增器(122b)；

第二电压倍增器(122a)；以及

屏蔽电极(123b)，所述屏蔽电极被设置为至少部分围绕所述输出电极；

其中：

电子发射源(121)被安装在所述输出电极处；

所述第二电压倍增器的输出端电连接到所述输出电极；

所述第一电压倍增器的输出端电连接到所述第二电压倍增器的输入端；

所述屏蔽电极电连接到所述第二电压倍增器的所述输入端；

所述第一电压倍增器和所述第二电压倍增器被设置在所述套管内；

所述套管的所述第一端部被布置在所述真空外壳的壁处；

所述输出电极被提供在所述套管的所述第二端部处；并且

所述屏蔽电极从所述套管的介于所述套管的所述第一端部与所述第二端部之间的区域处开始延伸。

2.根据权利要求1所述的电子束发生器，其中，所述屏蔽电极包围所述输出电极。

3.根据权利要求1所述的电子束发生器，其中，所述屏蔽电极周向地包围所述输出电极。

4.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述屏蔽电极具有发射孔口以容许来自安装在所述输出电极处的所述电子发射源的电 子的发射。

5.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中所述高电压发生器还包括：

第三电压倍增器(122c)；以及

辅助屏蔽电极(123c)，所述辅助屏蔽电极被设置为至少部分围绕所述屏蔽电极，并且

其中：

所述第三电压倍增器的输出端电连接到所述第一电压倍增器的输入端；并且

所述辅助屏蔽电极电连接到所述第一电压倍增器的所述输入端。

6.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述高电压发生器被布置为在至所述高电压发生器的输入端与所述输出电极之间生成至少500kV的DC电位差。

7.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，所述高电压发生器被布置为在至所述高电压发生器的输入端与所述输出电极之间生成至少750kV的DC电位差。

8.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器和所述第二电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的输出端与输入端之间生成至少150kV。

9.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器和所述第二电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的输出端与输入端之间生成至少200kV。

10.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器和所述第二电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的 输出端与输入端之间生成至少300kV。

11.根据权利要求5所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器、所述第二电压倍增器以及所述第三电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的输出端与输入端之间生成至少150kV。

12.根据权利要求5所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器、所述第二电压倍增器以及所述第三电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的输出端与输入端之间生成至少200kV。

13.根据权利要求5所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器、所述第二电压倍增器以及所述第三电压倍增器中的每一个电压倍增器被布置为在各自的输出端与输入端之间生成至少300kV。

14.根据权利要求1、2或3所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器和所述第二电压倍增器中的每一个电压倍增器是Cockroft-Walton电压倍增器。

15.根据权利要求5所述的电子束发生器，其中，所述第一电压倍增器、所述第二电压倍增器以及所述第三电压倍增器中的每一个电压倍增器是Cockroft-Walton电压倍增器。