[发明专利]电接触装置

权利要求书

1.一种电接触装置，用于测试件、尤其是晶片的沿接触方向进行的电物理接触，所述电接触装置具有至少一个能与测试装置电连接的导体基板，至少一个接触间隙变换器和至少一个具有电接触元件的接触头，其特征在于，所述接触头(3)被设置在所述导体基板(2)和所述接触间隙变换器(4)之间。

2.根据权利要求1所述的电接触装置，其特征在于，所述接触元件(9)被设计为基本上沿接触方向(15)有弹性的或基本上沿接触方向(15)弹性作用的弹性接触元件(16)。

3.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，在所述接触间隙变换器(4)上可移动地保持有用于测试件(5)的电物理接触的测试触点(19)，或者在所述接触间隙变换器(4)上固定有用于所述测试件(5)的电物理接触的测试触点(19)，其中，各个测试触点(19)被构造为刚性测试触点(19)或弹性测试触点(19)，特别是被构造为沿接触方向(15)的刚性测试触点(19)或者沿接触方向有弹性的或沿接触方向弹性作用的测试触点(19)。

4.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述接触元件(9)与所述测试触点(19)发生物理接触，或者所述接触元件(9)通过不可松脱的连接与所述测试触点(19)电连接，或者所述接触元件(9)和所述测试触点(19)彼此一体化地构成。

5.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述接触间隙变换器(4)借助于弹性支承件(41)沿接触方向(15)弹性地设置或基本上沿接触方向(15)弹性地设置，或者所述接触间隙变换器(4)借助导向支承件沿接触方向能移动地设置或基本上沿接触方向能移动地设置，并通过基本上沿接触方向(15)有弹性的或基本上沿接触方向(15)弹性作用的弹性接触元件(16)被弹性地支承，或者借助单独的弹性装置被弹性地支承。

6.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，设有用于所述接触间隙变换器(4)的定中心装置(48)。

7.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述弹性支承件(41)或所述导向支承件一起构成用于所述接触间隙变换器(4)的所述定中心装置(48)。

8.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述弹性支承件(41)具有至少一个片簧元件(45)。

9.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述片簧元件具有片状表面，该片状表面相对于所述接触方向横向地、特别是成直角地或基本成直角地延伸。

10.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述片簧元件(45)被设置为，通过第一端部区域(46)可移动地插入到位于所述接触间隙变换器(4)的侧面上的侧向凹槽(47)中，并且所述片簧元件(45)的另一端部区域保持静止不动和/或直接或间接地保持在所述接触头(3)上。

11.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，设有至少两个、优选三个或四个在它们之间分别围成一角度并以它们的第一端部区域(46)彼此会聚在一起的片簧元件(45)，特别是设有设置在片簧(42)上的片簧元件(45)，所述片簧元件被设置为，可移动地插入到位于所述接触间隙变换器(4)的不同侧面上的侧向凹槽(47)中。

12.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述片簧(42)具有多叶苜蓿状、特别是三叶苜蓿状或四叶苜蓿状的裂口(43)，其中，在苜蓿叶的每两个相邻的叶片(44)之间设置一个所述片簧元件(45)。

13.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，各个所述片簧元件(45)与对应的侧向凹槽(47)形成用于可径向移动地支承所述接触间隙变换器(4)的径向支座。

14.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，各个径向支座的径向方向相对于代表轴向方向的接触方向(15)横向地、特别是垂直地或基本上垂直地延伸。

15.根据前面任一项权利要求所述的电接触装置，其特征在于，所述接触头(3)的接触元件(9)被设计和/或设置为，所述接触头(3)形成另一个接触间隙变换器(23)。