[发明专利]液体过滤器用基材

说明书

技术领域

本发明涉及液体过滤器用基材。

背景技术

近年来，电子设备的小型化、高性能化日益进展，尤其是以个人电脑、智能手机为代表的数码设备、移动终端正在实现飞跃性的进步。众所周知，在牵引、支持该进步的各种各样的技术中，半导体产业的技术革新发挥了重大作用。在近年来的半导体产业中，就布线图案尺寸而言，已呈现为在小于20nm的领域开发竞争的态势，各公司正急于建立最先进的生产线。

光刻(lithography)工序是在半导体部件的制造中形成图案的工序。随着近年来的图案微细化，不仅对光刻工序中使用的药液本身的性状有所要求，而且，对直到向晶片上涂布为止的对药液的操作也逐渐在要求非常高水平的技术。

对于经复杂制备而得的药液，在马上要向晶片上涂布之前用细密的过滤器对其进行过滤，从而除去对图案形成、成品率产生较大影响的颗粒。在最先进的小于20nm的图案形成中，要求能够捕集小于约10nm的颗粒，各过滤器制造公司正在大力进行开发。

一般而言，液体过滤器将由聚乙烯、聚四氟乙烯、尼龙、聚丙烯等树脂形成的多孔质膜作为基材，加工成筒(cartridge)形来使用。从与药液的相容性、捕集性能、处理能力、寿命等观点考虑，基材根据目的用途而被区别使用。最近，特别重视使来自基材的溶出物减少，已在逐渐大量使用聚乙烯微多孔膜作为基材。

作为聚乙烯微多孔膜的代表性制造方法，可举出相分离法、拉伸法。相分离法是利用高分子溶液的相分离现象而形成细孔的技术，例如有专利文献1那样的利用热来诱导相分离的热诱导相分离法、利用高分子对溶剂的溶解度特性的非溶剂诱导相分离法等。此外，也可以组合热诱导相分离和非溶剂诱导相分离这两种技术，或者还通过拉伸来调整孔结构的形状、大小，从而丰富其变化(variation)。拉伸法是下述这样的方法：像例如专利文献2～5中那样，对已成型为片材状的聚乙烯坯料片进行拉伸，调整速度、倍率、温度等拉伸条件，将晶体结构中的非晶质部分拉长，在形成微纤维(microfibril)的同时在片状(lamellar)层之间形成微细孔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平2-251545号公报

专利文献2：日本特开2010-053245号公报

专利文献3：日本特开2010-202828号公报

专利文献4：日本特开平7-246322号公报

专利文献5：日本特开平10-263374号公报

发明内容

但是，如果想要高效捕集小于约10nm的微细的颗粒，却反而存在液体透过性变差的倾向。即，捕集性能与液体透过性存在制衡关系。

此外，在液体过滤器的长期使用中，由于对聚烯烃微多孔膜反复施加压力，所以也存在多孔质结构发生变化、液体透过性逐渐降低的情况。为了解决上述长期稳定使用的课题，虽然例如也可以考虑将聚烯烃微多孔膜制成刚性的构成，但这样的话对捕集性能、液体透过性也会产生影响。

此外，在如专利文献1～5这样的现有技术中，没有提出过既能使得对小于约10nm的微细颗粒的捕集性能及液体透过性优异、并且还能使长期使用中稳定的液体透过性得以实现的方案。

因此，本发明中，为了解决上述课题，以提供一种在对小于约10nm的微细颗粒具有优异的捕集性能的同时还具有优异的液体透过性、并且具有在长期使用中稳定的液体透过性的液体过滤器用基材作为目的。

为了解决上述课题，本发明采用以下构成。

1.液体过滤器用基材，所述基材由聚烯烃微多孔膜形成，所述聚烯烃微多孔膜的透水性能为0.10～0.50ml/min·cm²，所述聚烯烃微多孔膜的泡点(bubble point)为0.50MPa以上且为0.80MPa以下。

2.如上述1所述的液体过滤器用基材，其中，对于所述聚烯烃微多孔膜而言，以120℃进行1小时热处理后的宽度方向的热收缩率为15％以上。

3.如上述1或2所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的厚度为7～15μm。

4.如上述1～3中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的长度方向的拉伸伸长率大于55％、且为200％以下。

5.如上述1～4中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的缓冲率(cushion rate)大于30％。

6.如上述1～5中任一项所述的液体过滤器用基材，其中，所述聚烯烃微多孔膜的孔关闭温度高于140℃。