[发明专利]供气装置

权利要求书

1.一种供气装置，包括：

盖子，与气体管道相连接；

第一板，工艺腔室工艺腔室用于将流入所述盖子的气体排出到工艺腔室；

第二板，设置于所述盖子和所述第一板之间，用于分散向下流动的气体；

形成于所述第一板的多个排出孔；以及

形成于所述第二板的多个排出孔，

其中形成于所述第二板的角落部的排出孔以不同于形成在所述第一板的角落部的排出孔的状态配置，所述第一板的角落部与所述第二板的角落部对应。

2.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的多个排出孔之间的间隔不同于配置在所述角落部之外的多个排出孔之间的间隔。

3.根据权利要求2所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的多个排出孔之间的间隔大于配置在所述角落部之外的多个排出孔之间的间隔。

4.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的排出孔的配置密度不同于配置在所述角落部之外的排出孔的配置密度。

5.根据权利要求4所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的排出孔的配置密度小于配置在所述角落部之外的排出孔的配置密度。

6.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的排出孔的直径不同于配置在所述角落部之外的排出孔的直径。

7.根据权利要求6所述的供气装置，其中，

配置于所述角落部的排出孔的直径小于配置在所述角落部之外的排出孔的直径。

8.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

所述第一板的排出孔的数量不同于所述第二板的排出孔的数量。

9.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

所述第一板的中央部或边缘部中的排出孔的数量或配置不同于所述第二板的中央部或边缘部中的排出孔的数量或配置。

10.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

所述第二板包括：

对应于所述第二板的中央部的第一区域；

包围所述第一区域的第二区域；

在所述第二板的包围所述第二区域的近边缘部的第三区域；以及

对应于所述第二板的角落部的第四区域。

11.根据权利要求10所述的供气装置，其中，

所述第一区域的排出孔的配置密度小于所述第二区域的排出孔的配置密度，所述第一区域的排出孔的配置密度为第二区域的排出孔的配置密度的一半。

12.根据权利要求10所述的供气装置，其中，

所述第三区域的排出孔的配置密度小于所述第二区域的排出孔的配置密度。

13.根据权利要求12所述的供气装置，其中，

所述第三区域的排出孔的配置密度为第二区域的排出孔的配置密度的一半。

14.根据权利要求13所述的供气装置，其中，

所述第一区域的排出孔的配置密度与所述第三区域的配置密度相对应。

15.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

由形成在所述角落部的排出孔的被堵塞排出孔的面积与所述第二板的总面积的比例定义的孔堵塞率被设定在预定范围内。

16.根据权利要求15所述的供气装置，其中，

所述角落部包括相互隔开的多个单位区域，各单位区域的孔堵塞率在0.5％～3％的范围内。

17.根据权利要求15所述的供气装置，其中，

所述角落部具有直角三角形的形状，并且所述角落部对应于所述第二板的所有角落。

18.根据权利要求15所述的供气装置，其中，

所述角落部具有弧形的形状，所述角落部对应于所述第二板的所有角落。

19.根据权利要求15所述的供气装置，其中，

所述角落部具有阶梯形的形状，所述角落部对应于所述第二板的所有角落。

20.根据权利要求1所述的供气装置，其中，

由形成在所述角落部的排出孔的配置密度与形成在整个第二板的排出孔的配置密度的比例定义的孔密度比被设定在预定范围内。