[发明专利]激光器光学件保护有效
| 申请号: | 201480025453.8 | 申请日: | 2014-03-17 |
| 公开(公告)号: | CN105229874B | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
| 发明(设计)人: | 米歇尔·W·默里;梅尔文·J·利马 | 申请(专利权)人: | GSI集团公司 |
| 主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02;G02B7/00;G02B7/18;H01S3/034;G02B27/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光器 光学 保护 | ||
1.一种装置,包括:
壳体,所述壳体包括一个或多个光学部件,其中所述一个或多个光学部件的至少一个是牺牲部件,其中,在工作状态下,所述壳体在所述壳体的相应的一个或多个部分中具有预定的一个或多个气体压力;以及
一个或多个换能器,被构造成当所述壳体处于工作状态时,当在所述壳体的所述一个或多个部分的至少一个中的气体压力参数被改变而超过阈值水平时自动地生成激光器的关机命令,所述气体压力参数被所述一个或多个换能器中的至少一个压力换能器检测到且是由外部污染引起的,
其中,所述壳体可附接到所述激光器以保护所述激光器的至少一个输出光学部件,
其中,所述一个或多个光学部件包括以2°-5°与所述激光器的光轴不对准的至少一个光学窗,并且
其中,所述壳体被使用尘封附接到所述激光器,并且在附接工作状态下,所述壳体包括:
第一部分,被加压到大气压力以上,并且所述一个或多个光学部件在所述第一部分中包括所述光学窗和第一透镜,两者与所述壳体密闭相连并且所述第一透镜以2°-5°与所述激光器的光轴不对准,以及
第二部分,位于更加远离激光器处,被加压至大气压力以下,并且所述一个或多个光学部件在所述第二部分中包括与所述第一部分共享的所述第一透镜和与所述壳体密闭相连且以2°-5°与所述激光器的光轴不对准的第二透镜,
使得当作为牺牲部件的所述第一透镜被击穿、引起所述壳体的第一和第二部分中的压力的改变时生成关机命令。
2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第一透镜是发散透镜,并且所述第二透镜是物镜,两者形成伽利略扩束望远镜。
3.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第一透镜是会聚透镜,并且所述第二透镜是物镜,两者形成开普勒扩束望远镜,并且其中,在开普勒扩束望远镜的焦点处具有小孔的光阑针对可能的碎屑和烟雾保护作为牺牲部件的所述第一透镜。
4.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,当所述至少一个牺牲光学部件被击穿时,生成关机命令。
5.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,还包括:
一个或多个填充机构,被配置成在所述壳体的所述相应的一个或多个部分中提供预定的一个或多个气体压力。
6.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,当所述壳体处于附接工作位置时,所述预定的一个或多个气体压力中的至少一个在大气压力以上,其中,所述壳体外面的压力是大气压力。
7.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,当所述壳体处于工作状态时,所述预定的一个或多个气体压力中的至少一个在大气压力以下。
8.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,一个或多个光学部件包括用于所述激光器的工作波长范围的防反射涂层。
9.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,使用空气或干氮来提供所述一个或多个气体压力中的预定的一个。
10.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,所述激光器是CO2激光器。
11.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,所述激光器的所述关机命令引起所述激光器的电源的关闭。
12.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,所述激光器的所述关机命令在不关闭所述激光器的电源的情况下引起所述激光器的发射激光能力的终止。
13.根据权利要求1—3中的任一项所述的装置,其中,所述一个或多个换能器的一个是紫外线光电二极管、离子感烟检测器、光学感烟检测器、扩音器或红外检测器,使得所述一个或多个换能器的所述一个与所述至少一个压力换能器互补地使用。
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