[发明专利]加速度传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种加速度传感器，包括：

基板(1)，其包括基板表面；

采样块(6)，其能够沿与所述基板表面大致平行的正偏转方向x而相对于所述基板(1)移动，其中，所述采样块(6)包括能够与所述采样块一起移动的可动梳状电极(7a)，并且所述可动梳状电极(7a)包括沿所述正偏转方向x延伸的多个齿(8a)；

对电极(2a)，其固定连接至所述基板(1)，其中，所述对电极(2a)包括固定梳状电极(3a)，所述固定梳状电极(3a)包括沿与所述正偏转方向x相反的方向延伸的多个齿(4a)，并且所述可动梳状电极(7a)的齿(8a)与所述固定梳状电极(3a)的齿(4a)相接合；以及

屏蔽电极(9a)，其固定连接至所述基板(1)，所述屏蔽电极(9a)适合用于在所述采样块(6)的偏转移动期间提高所述采样块(6)的气动阻尼，

其中，所述可动梳状电极(7a)包括梳前向侧，其中所述梳前向侧具有与所述正偏转方向x大致垂直的梳前向表面；

所述屏蔽电极(9a)包括与所述梳前向表面大致平行的屏蔽电极表面；

所述梳前向表面和所述屏蔽电极表面彼此相对；

所述梳前向表面与所述屏蔽电极表面之间的距离在所述采样块(6)的偏转移动期间发生变化；以及

所述距离的变化适合用于提高所述采样块(6)的气动阻尼。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述采样块(6)和所述屏蔽电极(9a)具有相同的电位。

3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，所述对电极(2a)和所述屏蔽电极(9a)经由隔离层(12)彼此连接。

4.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述采样块(6)包括能够与所述采样块(6)一起移动的其它可动梳状电极(7b)，其中所述其它可动梳状电极(7b)包括沿与所述正偏转方向x相反的方向延伸的多个齿(8b)；

所述加速度传感器包括固定连接至所述基板(1)的其它对电极(2b)，其中，所述其它对电极(2b)包括其它固定梳状电极(3b)，所述其它固定梳状电极(3b)包括沿所述正偏转方向x延伸的多个齿(4b)，并且所述其它可动梳状电极(7b)的齿(8b)与所述其它固定梳状电极(3b)的齿(4b)相接合；以及

所述加速度传感器包括固定连接至所述基板(1)的其它屏蔽电极(9b)，该其它屏蔽电极(9b)适合用于在所述采样块(6)的偏转移动期间提高所述采样块(6)的气动阻尼。

5.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，

所述采样块(6)包括能够与所述采样块(6)一起移动的其它可动梳状电极(7b)，其中所述其它可动梳状电极(7b)包括沿与所述正偏转方向x相反的方向延伸的多个齿(8b)；

所述加速度传感器包括固定连接至所述基板(1)的其它对电极(2b)，其中，所述其它对电极(2b)包括其它固定梳状电极(3b)，所述其它固定梳状电极(3b)包括沿所述正偏转方向x延伸的多个齿(4b)，并且所述其它可动梳状电极(7b)的齿(8b)与所述其它固定梳状电极(3b)的齿(4b)相接合；以及

所述加速度传感器包括固定连接至所述基板(1)的其它屏蔽电极(9b)，该其它屏蔽电极(9b)适合用于在所述采样块(6)的偏转移动期间提高所述采样块(6)的气动阻尼。

6.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，所述屏蔽电极(9a)和所述其它屏蔽电极(9b)彼此一体地相连接。

7.根据权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于，所述屏蔽电极(9a)和所述其它屏蔽电极(9b)彼此一体地相连接。

8.根据权利要求1、2、6或7所述的加速度传感器，其特征在于，还包括弹簧元件(5)，所述弹簧元件(5)使所述采样块(6)与所述基板(1)彼此连接以使得所述采样块(6)能够沿所述正偏转方向x进行偏转移动并且使得所述采样块(6)在与所述正偏转方向x垂直且与所述基板表面平行的方向y上以大致刚性的方式受到支撑。