[发明专利]感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机EL显示装置以及触摸屏显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于包括：

(成分A)金属氧化物粒子、

(成分B)由下述式(I)所表示的化合物、

(成分C)溶剂、

(成分D)含有具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、以及

(成分E)光酸产生剂，

[化1]

式(I)中，Ar¹及Ar²分别独立地表示亚芳基，R¹及R²分别独立地表示羟基，羧基，烷氧基，或具有选自由羟基、羧基、环氧基及氧杂环丁基所组成的群组中的至少一种基的一价的有机基，R¹及R²的至少一个为羟基，羧基，或具有选自由羟基、羧基、环氧基及氧杂环丁基所组成的群组中的至少一种基的一价的有机基，R³及R⁴分别独立地表示一价的取代基，p及q分别独立地表示0～4的整数，不同的R³彼此及不同的R⁴彼此可键结而形成脂环或芳香环。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中成分B的分子量未满1,000。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中相对于成分D的含量100质量份，成分B的含量为1质量份～200质量份。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中成分A的平均一次粒径为50nm以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包括(成分F)分散剂。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中成分D满足由下述(1)及下述(2)所表示的聚合物成分的至少一者，

(1)含有(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，

(2)含有(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及含有(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中R¹及R²分别独立地为羟基，羧基，或具有选自由羟基、羧基、环氧基及氧杂环丁基所组成的群组中的至少一种基的一价的有机基。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中成分B为由下述式(II)所表示的化合物，

[化2]

式(II)中，Ar¹及Ar²分别独立地表示亚芳基，R⁵及R⁶分别独立地为氢原子，或具有选自由羟基、羧基、环氧基及氧杂环丁基所组成的群组中的至少一种基的一价的有机基，R³及R⁴分别独立地表示一价的取代基，p及q分别独立地表示0～4的整数，不同的R³彼此及不同的R⁴彼此可键结而形成脂环或芳香环。

9.一种硬化物的制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤(a)～步骤(c)，

(a)将根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的涂布步骤、

(b)自所涂布的树脂组合物中去除溶剂的溶剂去除步骤、以及

(c)对去除了溶剂的树脂组合物进行热处理的热处理步骤。

10.一种树脂图案制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤(1)～步骤(4)，

(1)将根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的涂布步骤、

(2)自所涂布的树脂组合物中去除溶剂的溶剂去除步骤、

(3)利用光化射线将去除了溶剂的树脂组合物曝光成图案状的曝光步骤、以及

(4)利用水性显影液对经曝光的树脂组合物进行显影的显影步骤。

11.一种硬化物，其利用根据权利要求9所述的硬化物的制造方法、或根据权利要求10所述的树脂图案制造方法而获得。

12.一种硬化膜，其是使根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而形成。

13.根据权利要求12所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。