[发明专利]真空泵系统

权利要求书

1.一种真空泵系统，具有：

对颗粒不敏感的第一真空泵；

沿着流动方向设置在所述第一真空泵下游的、对颗粒敏感的第二真空泵；

设置在所述真空泵之间的连接元件；和

设置在所述真空泵之间的过滤元件，所述过滤元件具有粗滤器和细滤器，

其中，

所述连接元件承载所述第一真空泵或所述第二真空泵，并且所述过滤元件与所述连接元件连接，

其中所述连接元件具有与所述第一真空泵的出口和所述粗滤器连接的弯曲的进入通道、设置在所述粗滤器和所述细滤器之间的连接通道、以及与所述细滤器的出口和所述第二真空泵的入口连接的排出通道，其中，位于内部的所述排出通道由在朝向环状通道的过渡区域中的所述连接通道围绕，其中所述连接通道沿着流动方向扩展成所述环状通道。

2.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述过滤元件集成在所述连接元件中。

3.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述连接元件具有能够与所述第一真空泵的出口刚性地连接的第一突出部。

4.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述连接元件具有能够与所述第二真空泵的入口刚性地连接的第二突出部。

5.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述过滤元件侧向地设置在所述连接元件上。

6.根据权利要求5所述的真空泵系统，其中，所述过滤元件以能更换的方式侧向地设置在所述连接元件上。

7.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述粗滤器和/或所述细滤器侧向地设置在所述连接元件上。

8.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述连接通道与围绕所述粗滤器的过滤元件的环形的通道连接。

9.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述排出通道是弯曲的。

10.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，构成所述进入通道和/或所述连接通道和/或所述排出通道的壁构成承载所述第一真空泵的刚性的所述连接元件。

11.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述第一真空泵和/或所述第二真空泵构成为干式压缩的真空泵。

12.根据权利要求1所述的真空泵系统，其中，所述第二真空泵构成为油密封的真空泵。