[发明专利]质谱分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及在大气压气氛下或者接近大气压的气体压力气氛下通过基质辅助激光解吸离子化法(MALDI：Matrix Assisted Laser Desorption Ionization)、激光解吸离子化法(LDI)等，将试样离子化，将所产生的离子输送到高真空气氛中而进行质谱分析的质谱分析装置。

背景技术

在医学(新生物标志物的探索、疾病的机理阐明)、药学(对药物动态/安全性实验的应用)、工程学(对材料开发/劣化解析的应用(有机EL、液晶、太阳能电池))、农学(异物检测(食品安全检査)、品种改良)等领域中，将试样离子化，对所产生的离子进行质谱分析。在分析药物、肽等试样的情况下，使用了例如具备大气压MALDI离子源、四极离子阱和飞行时间型质量分离器(TOFMS)的MALDI质谱分析装置(例如参照专利文献1)。在这样的大气压MALDI质谱分析装置中，通过四极离子阱捕捉由大气压MALDI离子源产生了的离子，根据需要，按多阶段使其裂开，由TOFMS进行质谱分析。

图6是大气压MALDI质谱分析装置的整体构成图。此外，将与地面水平的一个方向设为X方向，将与地面水平并且与X方向垂直的方向设为Y方向，将与X方向和Y方向垂直的方向设为Z方向。

大气压MALDI质谱分析装置201包括用于在大气压气氛(例如10⁵Pa)下将试样S离子化的离子化室210、以及在高真空气氛(例如10^-3Pa～10^-4Pa)中检测从离子化室210导入了的离子的质谱分析部20。

在质谱分析部20中，设置了与离子化室210邻接的第1中间真空室21、与第1中间真空室21邻接的第2中间真空室22、以及与第2中间真空室22邻接的分析室23。然后，在离子化室210的框体内部，形成大气压气氛(例如10⁵Pa)，在第1中间真空室21的内部，通过回转泵25，进行真空排气成低真空状态(例如10²Pa)，在第2中间真空室22的内部，通过涡轮分子泵25，进行真空排气成中真空状态(例如，10^-1Pa～10^-2Pa)，在分析室23的内部，通过涡轮分子泵25，进行真空排气成高真空状态(例如，10^-3Pa～10^-4Pa)。即，大气压MALDI质谱分析装置201形成从离子化室210向分析室23而阶段性地提高真空度的多级差动排气系统的构成。

离子化室210具备长方体形状(例如宽度60cm×纵深60cm×高度80cm)的腔室11(框体)、试样台50、光学显微镜30以及激光光源41。由此，在腔室11的内部形成空间。

在腔室11的内部的下表面，设置试样台50。试样台50具备用于载置试样S的块状的试样台、以及在X方向、Y方向与Z方向上驱动试样台的驱动机构。

在腔室11的内部的左部，配置有光学显微镜30。光学显微镜30具备在腔室11的内部的上部设置了的反射照明用光源部31和图像取得装置33、以及在腔室11的内部的下部配置了的透射照明用光源部32。

根据这样的光学显微镜30，从反射照明用光源部31射出了的光从-Z方向照射到通过试样台50，被配置于规定的观察位置P₁的试样S的设定区域。然后，在试样S的设定区域向Z方向反射了的光被引导到图像取得装置33。另外，从透射照明用光源部32射出了的光通过试样台50，从Z方向照射到被配置于规定的观察位置P₁的试样S的设定区域。然后，在试样S的设定区域向Z方向透射了的光被引导到图像取得装置33。其结果，图像取得装置33根据所检测到的光，将试样S的设定区域的放大图像显示于监视器等中。由此，操作者在观察试样S的设定区域的放大图像的同时，进行试样S上的分析位置(特定位置)的确定等。然后，根据进行分析位置(特定位置)的确定等而得到的信息，计算机等通过试样台50将试样S从观察位置P₁移动到离子化位置P₂。此外，反射照明用光源部31与透射照明用光源部32根据基板、试样S的透射性等而分别使用。

另外，在腔室11的内部的右上部，设置射出脉冲状的激光L的激光光源41，并执行基质辅助激光解吸离子化法。