[发明专利]光学模块以及观察装置

权利要求书

1.一种光学模块，其特征在于：

具备：

偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；

第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的透过所述光分支面的第1偏振光成分的光路上；

第1反射型空间光调制器，调制通过所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1调制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1调制光；

第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的在所述光分支面上被反射的第2偏振光成分的光路上；以及

第2反射型空间光调制器，调制通过所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2调制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2调制光，

在再次通过所述第1偏振光元件之后在所述光分支面上被反射的所述第1调制光和在再次通过所述第2偏振光元件之后透过所述光分支面的所述第2调制光被互相合波并从所述偏振光分束器被输出。

2.如权利要求1所述的光学模块，其特征在于：

所述第1以及第2反射型空间光调制器为液晶型，

所述第1反射型空间光调制器的液晶的取向方向与所述第2反射型空间光调制器的液晶的取向方向互相垂直。

3.如权利要求1或者2所述的光学模块，其特征在于：

还具备具有互易性的光学活性并且配置于所述偏振光分束器与所述第1反射型空间光调制器之间的光路上或者所述偏振光分束器与所述第2反射型空间光调制器之间的光路上的偏振光元件。

4.一种观察装置，其特征在于：

具备：

权利要求1～3中的任意一项所述的光学模块；

对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为所述入射光向所述光学模块入射的聚光光学系统；

对从所述光学模块输出的光进行成像的成像光学系统；以及

检测由所述成像光学系统成像的光的光检测器。

5.如权利要求4所述的观察装置，其特征在于：

在所述成像光学系统与所述光检测器之间的光路上配置有针孔。

6.一种光学模块，其特征在于：

具备：

第1偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；

第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的在所述第1偏振光分束器的所述光分支面上被反射的第1偏振光成分的光路上；

第1反射型空间光调制器，调制通过所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1调制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1调制光；

第2偏振光分束器，具有反射s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面并且在所述光分支面接受所述入射光中的透过所述第1偏振光分束器的所述光分支面的第2偏振光成分；

第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上经透过以及反射中的一方的所述第2偏振光成分的光路上；以及

第2反射型空间光调制器，调制通过所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2调制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2调制光，

所述第1调制光在再次通过所述第1偏振光元件之后透过所述第1偏振光分束器的所述光分支面并被输出，所述第2调制光在再次通过所述第2偏振光元件之后在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上经透过以及反射中的另一方并被输出。

7.如权利要求6所述的光学模块，其特征在于：

还具备设置于所述第1偏振光分束器与所述第1反射型空间光调制器之间的光路上的光路长调整元件。

8.如权利要求6或者7所述的光学模块，其特征在于：

还具备具有互易性的光学活性并且设置于所述第1偏振光分束器与所述第2偏振光分束器之间的光路上的偏振光元件。

9.一种观察装置，其特征在于：

具备：

权利要求6～8中的任意一项所述的光学模块；

对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为所述入射光向所述光学模块入射的聚光光学系统；

对从所述光学模块输出的光进行成像的成像光学系统；以及

检测由所述成像光学系统成像的光的光检测器。

10.如权利要求9所述的观察装置，其特征在于：

在所述成像光学系统与所述光检测器之间的光路上配置有针孔。