[发明专利]电镀铜浴用添加剂、含该添加剂的电镀铜浴及使用该电镀铜浴的电镀铜方法在审
申请号: | 201480019927.8 | 申请日: | 2014-03-19 |
公开(公告)号: | CN105102687A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 高桥拓也;吉井崇洋;廿日出朋子;图师丈裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社ADEKA |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 吴宗颐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀铜 添加剂 使用 方法 | ||
1.电镀铜浴用添加剂,其含有选自下述通式(1)或下述通式(2)表示的高分子化合物中的至少1种的、重均分子量为20,000~10,000,000的高分子化合物;
式中,n表示使重均分子量为20,000~10,000,000的数;
式中,X表示选自下述(X-1)~(X-18)表示的单元中的至少1个单元,a和b为使重均分子量为20,000~10,000,000的数,a和b的比例为a:b=10:90~99:1的范围,
2.权利要求1所述的电镀铜浴用添加剂,其含有下述通式(1)表示的高分子化合物;
式中,n表示使重均分子量为20,000~10,000,000的数。
3.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为20,000~5,000,0000。
4.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为100,000~5,000,0000。
5.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为200,000~5,000,000。
6.电镀铜浴,其含有权利要求1~5任一项所述的电镀铜浴用添加剂0.0001~0.1质量%。
7.权利要求6所述的电镀铜浴,其中,上述电镀铜浴用添加剂含有上述通式(1)表示的高分子化合物。
8.权利要求7所述的电镀铜浴,其含有上述电镀铜浴用添加剂0.001~0.05质量%。
9.权利要求7所述的电镀铜浴,其含有上述电镀铜浴用添加剂0.003~0.03质量%。
10.权利要求6所述的电镀铜浴,其含有铜盐、硫酸和盐酸。
11.电镀铜方法,使用权利要求6所述的电镀铜浴。
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