[发明专利]电镀铜浴用添加剂、含该添加剂的电镀铜浴及使用该电镀铜浴的电镀铜方法在审

专利信息
申请号: 201480019927.8 申请日: 2014-03-19
公开(公告)号: CN105102687A 公开(公告)日: 2015-11-25
发明(设计)人: 高桥拓也;吉井崇洋;廿日出朋子;图师丈裕 申请(专利权)人: 株式会社ADEKA
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吴宗颐
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 镀铜 添加剂 使用 方法
【权利要求书】:

1.电镀铜浴用添加剂,其含有选自下述通式(1)或下述通式(2)表示的高分子化合物中的至少1种的、重均分子量为20,000~10,000,000的高分子化合物;

式中,n表示使重均分子量为20,000~10,000,000的数;

式中,X表示选自下述(X-1)~(X-18)表示的单元中的至少1个单元,a和b为使重均分子量为20,000~10,000,000的数,a和b的比例为a:b=10:90~99:1的范围,

2.权利要求1所述的电镀铜浴用添加剂,其含有下述通式(1)表示的高分子化合物;

式中,n表示使重均分子量为20,000~10,000,000的数。

3.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为20,000~5,000,0000。

4.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为100,000~5,000,0000。

5.权利要求2所述的电镀铜浴用添加剂,其中,上述通式(1)表示的高分子化合物的重均分子量为200,000~5,000,000。

6.电镀铜浴,其含有权利要求1~5任一项所述的电镀铜浴用添加剂0.0001~0.1质量%。

7.权利要求6所述的电镀铜浴,其中,上述电镀铜浴用添加剂含有上述通式(1)表示的高分子化合物。

8.权利要求7所述的电镀铜浴,其含有上述电镀铜浴用添加剂0.001~0.05质量%。

9.权利要求7所述的电镀铜浴,其含有上述电镀铜浴用添加剂0.003~0.03质量%。

10.权利要求6所述的电镀铜浴,其含有铜盐、硫酸和盐酸。

11.电镀铜方法,使用权利要求6所述的电镀铜浴。

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