[发明专利]层积体及阻气膜在审
| 申请号： | 201480018522.2 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN105263704A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 堀池乔文;佐藤尽;高岛菜穗 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张苏娜;常海涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 层积 阻气膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种层积体，其包括：
具有表面的基材，
覆盖所述基材的所述表面、且其膜厚为3nm以上500nm以下的原子层沉积膜、以及
覆盖所述原子层沉积膜的保护膜层，其中，
在将所述原子层沉积膜的厚度设为ta、将所述保护膜层的厚度设为tOC时，所述保护膜层的厚度满足ta＜tOC＜50ta的关系。
2.根据权利要求1所述的层积体，其中，
所述保护膜层由水溶性高分子和金属醇盐构成。
3.根据权利要求1所述的层积体，其中，
所述保护膜层由具有选自Si、Al、Ti中的至少一个元素的氧化物、氮化物、氮氧化物中的任一种构成。
4.根据权利要求1所述的层积体，
其中，所述保护膜层利用湿式涂布或干式涂布中的任一种技术而形成。
5.一种阻气膜，其是使权利要求1至4中任一项所述的层积体形成为薄膜状而得到的。
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