[发明专利]微粒测定方法及微粒测定系统、以及超纯水制造系统

权利要求书

1.一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。

2.如权利要求1所述的微粒测定方法，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时也使所述过滤部继续运转。

3.如权利要求1所述的微粒测定方法，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第1过滤部和第2过滤部，

在所述计量部和所述第1过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，停止所述第1过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的微粒测定方法，其中，在所述异常解除后，停止所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的微粒测定方法，其中，对由所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部捕获到的微粒进行分析。

6.一种微粒测定系统，该微粒测定系统具有

对试样水中的微粒进行测定的计量部，

过滤所述试样水，并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部，及

在所述计量部和所述过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，控制所述试样水的过滤而使其继续进行的控制部。

7.如权利要求6所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部也可以使所述过滤部继续运转。

8.如权利要求6所述的微粒测定系统，其中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第1过滤部和第2过滤部，

在所述计量部和所述第1过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部停止所述第1过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。

9.如权利要求6～8中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述异常解除后，所述控制部使所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部停止。

10.如权利要求6～9中任意一项所述的微粒测定系统，其中，在所述计量部测定到所述微粒在规定数量以上且持续规定时间时，所述控制部判断为所述异常。

11.一种超纯水制造系统，其中，在超纯水的制造工序中配备有权利要求6～10中任意一项所述的微粒测定系统。