[发明专利]磁场值测定装置以及磁场值测定方法

权利要求书

1.一种检测从观察试样产生的直流磁场的磁场测定装置，其特征在于，具备：

振动式的探针装置，其具备探针，该探针含有一种以上的具有磁化强度与外部磁场的大小成比例这种性质的材料；

机械振动源，其对上述探针进行机械激励；

振动检测装置，其检测上述探针的机械振动频率和机械振动振幅；

交流磁场产生装置，其向上述探针施加交流磁场，该交流磁场在上述探针的机械振动方向上的变化率不为零且频率与上述探针的机械振动频率不同；

直流外部磁场产生装置，其向上述探针施加上述机械振动方向的直流外部磁场；

频率调制检测装置，其基于上述振动检测装置所检测出的上述机械振动频率来检测在上述探针的机械振动中产生的频率调制；

直流外部磁场调整装置，其对上述直流外部磁场产生装置向上述探针施加的上述机械振动方向的直流外部磁场的大小进行调整；以及

直流磁场确定装置，其根据上述频率调制的大小为极小时的上述直流外部磁场产生装置的输出值、或者要使上述频率调制的大小成为极小时的上述直流外部磁场产生装置的预测输出值，来确定从上述观察试样产生的上述机械振动方向的上述直流磁场的值。

2.根据权利要求1所述的磁场测定装置，其特征在于，

上述直流外部磁场调整装置调整上述直流外部磁场使得上述直流外部磁场将上述直流磁场全部消除。

3.根据权利要求1所述的磁场测定装置，其特征在于，

上述直流外部磁场调整装置调整上述直流外部磁场使得上述直流外部磁场将上述直流磁场的一部分消除。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的磁场测定装置，其特征在于，

上述交流磁场产生装置具有电磁线圈。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的磁场测定装置，其特征在于，

上述交流磁场产生装置具有两个以上的电磁线圈，

通过该两个以上的电磁线圈产生在上述探针的前端为彼此消除的朝向的多个磁场，由此上述交流磁场产生装置产生具有磁场振幅为零的位置的磁场，并且

上述交流磁场产生装置所产生的磁场在上述磁场振幅为零的位置处的磁场梯度比上述两个以上的电磁线圈各自单独产生的磁场在该位置处的磁场梯度中的任一个都大。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的磁场测定装置，其特征在于，

直流外部磁场产生装置具有向上述探针施加磁场的电磁线圈，

上述直流外部磁场调整装置具有电流调整装置。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的磁场测定装置，其特征在于，

还具备利用上述探针对上述观察试样的表面进行一维、二维或三维扫描的机构。

8.一种磁场测定方法，使用具备探针的振动式的探针装置来测定从观察试样产生的直流磁场，其中，该探针含有一种以上的具有磁化强度与外部磁场的大小成比例这种性质的磁性材料，该磁场测定方法的特征在于，包括以下工序：

对上述探针进行机械激励；

向上述探针施加在上述探针的机械振动方向上的变化率不为零且频率与上述探针的机械振动频率不同的交流磁场，并且向上述探针施加上述机械振动方向的直流外部磁场，上述直流外部磁场的朝向为消除从上述观察试样产生的上述直流磁场的朝向；

检测在上述探针的机械振动中产生的频率调制；

根据上述频率调制的检测结果，调整向上述探针施加的上述机械振动方向的直流外部磁场的大小；以及

根据不产生上述频率调制时或上述频率调制的大小为极小时的上述直流外部磁场的值、或者要使上述频率调制的大小成为极小时的上述直流外部磁场的预测值，来确定从上述观察试样产生的上述机械振动方向的上述直流磁场的值。

9.根据权利要求8所述的磁场测定方法，其特征在于，

还具有以下工序：调整上述直流外部磁场使得上述直流外部磁场将上述直流磁场全部消除。

10.根据权利要求8所述的磁场测定方法，其特征在于，还具有以下工序：

调整上述直流外部磁场使得上述直流外部磁场将上述直流磁场的一部分消除；以及

根据至少两个上述直流外部磁场的值以及与该至少两个上述直流外部磁场的值对应的频率调制的大小，来确定从上述观察试样产生的上述机械振动方向的上述直流磁场的值。