[发明专利]流体喷射模块安装

权利要求书

1.一种流体喷射模块安装装置，包括：

模块底座，其具有水平部分和竖直部分，所述水平部分具有配置成接收流体喷射模块的开口，并且所述竖直部分具有突出部分，

流体喷射模块，其安装至所述模块底座，以及

夹紧组件，其包括

凹进部分，其中，所述模块底座的突出部分配置成与所述凹进部分配合，

夹具，其沿所述凹进部分的壁，以及

杆，其联接至所述夹具并配置成将所述夹具从打开位置移动到关闭位置。

2.根据权利要求1所述的安装装置，其中，所述模块底座还包括在x、y和z方向上精密表面，所述精密表面接触所述夹紧组件上的在x、y，和z方向上相应的对准接触点。

3.根据权利要求1所述的安装装置，其中，所述夹紧组件还包括配置成使所述流体喷射模块相对于所述夹紧组件在θz方向上移动的θz调整机构。

4.根据权利要求3所述的安装装置，其中，所述θz调整机构包括配置成每转移动50微米或更小的差动螺钉。

5.根据权利要求3所述的安装装置，其中，所述θz调整机构从所述夹紧组件的一个以上的表面可接近。

6.根据权利要求1所述的安装装置，其中，所述夹紧组件还包括配置成使所述流体喷射模块相对于所述夹紧组件在x方向上移动的x调整机构。

7.根据权利要求6所述的安装装置，其中，所述x调整机构包括凸轮组件，其包括从z轴倾斜成角度α的凸轮。

8.根据权利要求7所述的安装装置，其中，所述凸轮倾斜成角度α，使得所述凸轮的一次旋转转化成使所述流体喷射模块在x方向上的一个像素上移动。

9.根据权利要求6所述的安装装置，其中，所述x调整机构从所述夹紧组件的一个以上的表面可接近。

10.根据权利要求1所述的安装装置，其中，所述夹具包括弹簧。

11.根据权利要求10所述的安装装置，其中，所述夹紧组件还包括联接至所述杆和所述夹具的凸轮板。

12.根据权利要求11所述的安装装置，其中，所述凸轮板联接至弹簧。

13.根据权利要求1所述的安装装置，其中，所述夹紧组件包括数个夹具。

14.根据权利要求1所述的安装装置，还包括框架，其中，所述夹紧组件安装至所述框架。

15.根据权利要求1所述的安装装置，还包括数个流体喷射模块、数个模块底座，以及数个夹紧组件，其中，每个流体喷射模块被安装至模块底座，并且每个模块底座被安装至夹紧组件。

16.根据权利要求15所述的安装装置，还包括框架，其中，所述夹紧组件安装至所述框架。

17.一种对准流体喷射模块安装装置的方法，包括：

将数个夹紧组件松弛地固定至框架；

将调准架固定至所述数个夹紧组件，其包括：

将所述调准架置于所述数个夹紧组件中，以及

将每个夹紧组件上的杆从打开位置移动至关闭位置，使得每个夹紧组件上的夹具将所述调准架固定至所述夹紧组件；

将所述数个夹紧组件牢固地固定至所述框架；

从所述数个夹紧组件中移除所述调准架，以及

将数个模块底座组件固定至所述数个夹紧组件，其中，每个模块底座组件包括安装至模块底座的流体喷射模块。

18.根据权利要求17所述的方法，还包括将数个流体喷射模块与数个模块底座对准，以及将所述数个流体喷射模块粘结至所述数个模块底座，以形成所述数个模块底座组件。

19.根据权利要求18所述的方法，其中，将所述数个流体喷射模块与所述数个模块底座对准，对于每个流体喷射模块设置相对于相应的夹紧组件的x、y，θz方向。

20.根据权利要求17所述的方法，还包括使用x调整机构，在x方向上相对于相应的夹紧组件调整至少一个模块底座组件。

21.根据权利要求17所述的方法，还包括使用θz调整机构，在θz方向上相对于相应的夹紧组件调整至少一个模块底座组件。