[发明专利]具有窄间隙静电致动器的显示设备

权利要求书

1.一种显示元件，其包括：

衬底；

耦合到所述衬底的机电系统EMS静电致动器，其包括：

负载梁电极，其耦合到光调制器；以及

驱动梁电极，其具有：第一部分，其定位为邻近所述负载梁；第二部分，其相对于所述负载梁定位在所述第一部分后方；以及端部分，其将所述第一部分连接到所述第二部分，其中所述第二部分的厚度沿着其长度而变化。

2.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述驱动梁电极的所述第二部分包含第一大致U形片段，并且其中所述驱动梁电极沿着所述第一大致U形片段的厚度不同于所述梁邻近所述第一大致U形片段的厚度。

3.根据权利要求2所述的显示设备，其中所述驱动梁电极的所述第二部分包含第二大致U形片段，并且其中所述驱动梁电极沿着所述第一大致U形片段和所述第二大致U形片段的厚度不同于所述第二部分的其余部分的厚度。

4.根据权利要求3所述的显示设备，其中所述第一U形片段邻近所述第二U形片段。

5.根据权利要求2所述的设备，其中所述驱动梁电极的所述第一部分包含小于所述第二部分的所述第一U形片段的第三大致U形片段。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述驱动梁电极的所述第二部分的片段相对于所述衬底具有角度，所述角度比由所述驱动梁电极的所述第二部分的其余部分相对于所述衬底形成的角度浅。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述驱动梁电极的所述第二部分的相对于所述衬底具有所述较浅角度的所述片段比所述衬底的所述第二部分的所述其余部分薄。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述驱动梁的所述第一部分、所述端部分和所述第二部分形成环状物。

9.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：

显示器；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

10.根据权利要求9所述的设备，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述显示器；以及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

11.根据权利要求9所述的设备，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器和发射器中的至少一者。

12.根据权利要求9所述的设备，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据并将所述输入数据传达到所述处理器。

13.一种显示元件，其包括：

衬底；

耦合到所述衬底的机电系统EMS静电致动器，其包括：

负载梁电极，其耦合到光调制器；以及

驱动梁电极，其耦合到所述衬底，所述驱动梁电极具有：

第一部分，其定位为邻近所述负载梁电极；

第二部分，其相对于所述负载梁电极定位在所述第一部分后方；

端部分，其将所述第一部分连接到所述第二部分；以及

架结构，其与将所述驱动梁支撑在所述衬底上方的锚分离，所述架结构具有实质上平行于所述衬底并耦合到所述驱动梁的所述第二部分的第一平坦表面。

14.根据权利要求13所述的显示元件，其中所述第一平坦表面定位在所述驱动梁的所述第二部分的实质上垂直于所述衬底的一侧上。

15.根据权利要求13所述的显示元件，其中所述第一平坦表面定位在所述驱动梁的所述第二部分的背离所述衬底的边缘上。

16.根据权利要求13所述的显示元件，其中所述架结构包含第二平坦表面，所述第二平坦表面实质上平行于所述衬底并耦合到所述驱动梁的所述第二部分。

17.根据权利要求16所述的显示元件，其中所述第一平坦表面和所述第二平坦表面定位在所述第二部分的相对于所述衬底而实质上垂直的一侧的相对端上。

18.根据权利要求13所述的显示元件，其中所述架结构与所述驱动梁的所述第一部分物理地分离。