[发明专利]曲面衍射光栅、其制造方法以及光学装置

权利要求书

1.一种曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

通过以下的工序(1)—(4)形成曲面衍射光栅的模具，通过将该模具转印至树脂基板来制作曲面衍射光栅：

(1)在硅基板上形成衍射图案的工序，

(2)使形成有上述衍射图案的硅基板与非晶质材料基板以上述衍射图案与上述非晶质材料基板的表面相对的方式重合，在上述非晶质材料基板的主面上转印上述衍射图案从而形成非晶质材料制平面衍射光栅的工序，

(3)通过使在一主面上具备凸状曲面的曲面基板的该一主面侧抵接于上述非晶质材料基板的与形成上述非晶质材料制平面衍射光栅的面相对的面并按压，使上述非晶质材料基板曲面化从而使上述非晶质材料制平面衍射光栅曲面化的工序，

(4)通过固定上述曲面化的非晶质材料基板的该一主面相对的凹面与具备凸状曲面的固定基板的该凸状曲面，形成曲面衍射光栅的模具的工序。

2.根据权利要求1所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

在上述工序(2)中，一边进行热处理一边在上述非晶质材料基板的主面上转印上述衍射图案。

3.根据权利要求1所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

上述固定基板由硅材料构成。

4.根据权利要求3所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

在上述工序(4)中，上述曲面化的非晶质材料基板与上述固定基板通过阳极接合固定。

5.根据权利要求1所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

上述固定基板由上述非晶质材料构成。

6.根据权利要求1所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

在上述工序(3)中，利用在一主面上具备凸状曲面的凸状曲面基板、具备上述凸状曲面具有的曲率的凹状曲面基板夹入合成基板并按压，该合成基板通过形成有上述衍射图案且薄膜化的硅基板与非晶质材料基板以上述衍射图案与上述非晶质材料基板的表面相对的方式重合而成。

7.根据权利要求6所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

在上述工序(2)中，还具备在上述非晶质材料基板的主面上转印了上述衍射图案后，在转印有上述衍射图案的上述非晶质材料基板的主面上形成保护膜的工序。

8.根据权利要求1所述的曲面衍射光栅的制作方法，其特征在于，

在上述工序(1)中，代替硅基板使用非晶质材料基板，形成上述衍射图案，通过不进行上述工序(2)地进行上述工序(3)以及(4)，形成曲面衍射光栅的模具。