[发明专利]旋转接头及旋转平台装置

权利要求书

1.一种旋转平台装置，所述旋转平台装置具有多条低温供应管及排管，其特征在于包括：

基座；

平台，旋转地连接至所述基座；

旋转接头，用以提供低温流体来冷却所述平台，所述旋转接头连接于所述基座与所述平台之间，所述旋转接头包括第一管连接件与第二管连接件及挠曲管部分，所述第一管连接件连接到所述低温供应管及排管，所述挠曲管部分具有与所述平台的非旋转位置相关的第一配置结构，以及与所述平台的旋转位置相关的第二配置结构，其中在所述第一配置结构中，所述挠曲管部分具有第一弯曲半径，并且在所述第二配置结构中，所述挠曲管部分具有第二弯曲半径，所述第一弯曲半径与所述第二弯曲半径相异；以及

驱动区块部分，连接于所述挠曲管部分与所述第一管连接件之间，

所述驱动区块部分还包括流体通道以让所述低温流体流经所述挠曲管部分与所述第一管连接件之间。

2.根据权利要求1所述的旋转平台装置，其特征在于与所述挠曲管部分的第一端与第二端有关的所述第一管连接件与所述第二管连接件，所述第一管连接件用来从低温流体供应源接收所述低温流体，所述第二管连接件用来供应所述低温流体至所述平台。

3.根据权利要求1或2所述的旋转平台装置，其特征在于还包括在所述挠曲管部分于所述第一配置结构与所述第二配置结构之间移动时，用来可控地限制所述挠曲管部分移动的夹持元件。

4.根据权利要求1所述的旋转平台装置，其特征在于还包括具有外侧围墙的接头基座元件，所述接头基座元件在所述挠曲管部分于所述第一配置结构与所述第二配置结构之间移动时，用来可控地限制所述挠曲管部分的移动。

5.根据权利要求1所述的旋转平台装置，其特征在于还包括连接至所述驱动区块部分的杆，所述杆旋转地连接至所述旋转接头的基座部分，所述基座部分固定至所述基座。

6.根据权利要求1或5所述的旋转平台装置，其特征在于还包括相对于所述平台固定的防护构件，所述防护构件连接至所述驱动区块部分，所述防护构件在所述平台与所述基座彼此相对转动时，经由所述旋转接头传送旋转力。

7.根据权利要求1所述的旋转平台装置，其特征在于还包括具有外侧围墙的基座构件及连接至所述基座构件的护盖，其中所述基座构件、所述外侧围墙及所述护盖在所述挠曲管部分于所述第一配置结构与所述第二配置结构之间移动时，用来可控地限制所述挠曲管部分的移动。

8.一种旋转接头，适用于半导体制程，其特征在于所述旋转接头包括：

基座部分；

杆，旋转地连接至所述基座部分；

第一管连接件与第二管连接件及挠曲管部分，所述第一管连接件连接到低温供应管及排管；以及

驱动区块部分，连接于所述挠曲管部分与所述第一管连接件之间，

所述驱动区块部分还包括流体通道以让低温流体流经所述挠曲管部分与所述第一管连接件之间；

其中所述挠曲管部分连接至所述驱动区块部分及所述第二管连接件之间，其中所述挠曲管部分具有与所述旋转接头的非旋转位置相关的第一配置结构，及与所述旋转接头的旋转位置相关的第二配置结构，其中在所述第一配置结构中，所述挠曲管部分具有第一弯曲半径，且在所述第二配置结构中，所述挠曲管部分具有第二弯曲半径，所述第一弯曲半径与所述第二弯曲半径相异。

9.根据权利要求8所述的旋转接头，其特征在于所述第一管连接件用来接收来自低温流体源的所述低温流体，所述第二管连接件用来供应所述低温流体至平台。

10.根据权利要求8或9所述的旋转接头，其特征在于所述旋转接头还包括夹持元件用来在所述挠曲管部分于所述第一配置结构与所述第二配置结构之间移动时，可控地限制所述挠曲管部分的移动。