[发明专利]热耦合的石英圆顶热沉

权利要求书

1.一种处理腔室，所述处理腔室包括：

腔室主体，所述腔室主体包括光学透明窗；

灯箱，所述灯箱具有上表面且设置成与所述光学透明窗邻近，所述灯箱具有形成在所述灯箱的所述上表面内的多个开口，所述光学透明窗与所述灯箱之间有间隙，其中所述灯箱的所述上表面包括邻近所述间隙的紊流诱发特征，所述紊流诱发特征包括凸块或脊；

多盏灯，所述多盏灯设置在所述灯箱中，并且所述多盏灯经定位以引导辐射能通过在所述灯箱的所述上表面内形成的多个开口；

一个或多个冷却通道，所述一个或多个冷却通道设置在所述灯箱中，所述一个或多个冷却通道界定在所述多盏灯与所述灯箱的所述上表面之间，所述灯箱的的所述上表面设置在所述一个或多个冷却通道与所述间隙之间；以及

温度控制单元，所述温度控制单元适于提供冷却流体至所述光学透明窗与所述灯箱之间的所述间隙。

2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述灯箱包含铜或铝。

3.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述温度控制单元包括热交换器。

4.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述温度控制单元包括强制送入单元。

5.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述光学透明窗是下圆顶。

6.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述光学透明窗包含石英。

7.一种冷却方法，所述方法包括以下步骤：

使得在介于光学透明窗与灯箱之间的空间内的冷却流体循环，所述灯箱具有形成在所述灯箱中的至少一个冷却通道，其中所述灯箱的表面包括一个或多个紊流诱发特征，以引起所述冷却流体的紊流，且其中所述冷却流体将所述光学透明窗与所述至少一个冷却通道热耦合，其中所述箱体的所述表面设置成与所述光学透明窗邻近，且所述灯箱具有在所述灯箱的所述表面内形成的多个开口。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述冷却流体包括氮气、氦气、氢气或大气中的空气上述各项中的一种或多种。

9.如权利要求7所述的方法，其中：

所述冷却流体是液体；

介于所述光学透明窗与所述灯箱之间的所述空间的尺寸受到选择以产生所述冷却流体的局部化的再循环；以及

强制送入有助于介于所述光学透明窗与所述灯箱之间的所述冷却流体的流动。

10.如权利要求7所述的方法，进一步包括以下步骤：使所述冷却流体循环通过热交换器。