[发明专利]用于制造光电器件的方法在审
申请号: | 201480010011.6 | 申请日: | 2014-01-15 |
公开(公告)号: | CN105144411A | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 斯特凡·伊莱克;汉斯-于尔根·吕高尔;于尔根·莫斯布尔格;托马斯·施瓦茨;坦森·瓦尔盖塞 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体股份有限两合公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/54 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;李慧 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 光电 器件 方法 | ||
1.一种用于制造光电器件(10,20,30)的方法,具有如下步骤:
-提供具有前侧(101)和后侧(102)的光电子半导体芯片(100);
-将牺牲层(120)施加在所述后侧(102)上;
-构造成形体(200,500),其中所述光电子半导体芯片(100)至少部分地嵌入到所述成形体(200,500)中;
-移除所述牺牲层(120)。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,在移除所述牺牲层(120)之前执行如下步骤:
-部分地移除所述成形体(200,500),以使得所述牺牲层(120)能够被触及。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述光电子半导体芯片(100)嵌入到所述成形体(200,500)中,使得所述光电子半导体芯片(100)的所述前侧(101)与所述成形体(200,500)的下侧(201,501)齐平。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,在构造所述成形体(200,500)之前,执行如下步骤:
-将所述光电子半导体芯片(100)布置在载体(300,400)上,其中,所述光电子半导体芯片(100)的所述前侧(101)朝向所述载体(300,400)的表面(301,401)。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述载体(400)的所述表面(401)的第一侧向部段(410)相对于所述载体(400)的所述表面(401)的第二侧向部段(420)突起。
6.根据权利要求4和5中任一项所述的方法,其中,执行如下了另外的步骤:
-将所述成形体(200,500)从所述载体(300,400)剥离。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,所述光电子半导体芯片(100)的所述前侧(101)设置用于使电磁辐射穿过。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,提供具有布置在所述后侧(102)上的金属化部(110)的所述光电子半导体芯片(100)。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,在移除所述牺牲层(120)之后执行如下另外的步骤:
-将金属(115)无电流地沉积在所述光电子半导体芯片(100)的所述后侧(102)处。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,执行如下另外的步骤:
-对沉积在所述光电子半导体芯片(100)的所述后侧(102)处的所述金属(115)和所述成形体(200,500)进行平面磨削。
11.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,在施加所述牺牲层(120)和构造所述成形体(200,500)之间从晶片阵列中分离出所述光电子半导体芯片(100)。
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,导电的传导元件(600)与布置在所述传导元件(600)上的传导元件牺牲层连同所述光电子半导体芯片(100)一起嵌入到所述成形体(500)中,其中,所述传导元件牺牲层连同所述牺牲层(120)一起移除。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,多个所述光电子半导体芯片(100)共同地嵌入到所述成形体(200,500)中,
其中分解所述成形体(200,500),以便获得多个所述光电器件(10,20,30)。
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