[发明专利]测量装置有效
申请号: | 201480009066.5 | 申请日: | 2014-01-29 |
公开(公告)号: | CN105074403B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 古田泰友 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01J3/50 | 分类号: | G01J3/50;G01J3/02;G03G15/01 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 装置 | ||
1.一种测量装置,其特征在于,包括:
发光单元,被配置为发光;
衍射光栅,被配置为分散来自测量目标的反射光;
光接收单元,被配置为接收由衍射光栅分散的光,在该光接收单元中多个光接收元件被布置成行;
温度检测单元,被配置为检测发光单元的温度;
确定单元,被配置为控制发光单元发光,使衍射光栅分散来自基准元件的反射光,获得对来自基准元件的反射光的光接收的结果,基于对来自基准元件的反射光的光接收的结果来确定由光接收单元接收的光的波长的第一偏移量,基于由温度检测单元检测的温度来确定由光接收单元接收的光的波长的第二偏移量,以及基于第一偏移量和第二偏移量来确定所述多个光接收元件和来自测量目标的反射光的波长之间的对应关系;以及
输出单元,被配置为基于所述对应关系根据由光接收单元对来自测量目标的反射光的光接收的结果来输出关于测量目标的光谱反射率信息。
2.根据权利要求1所述的测量装置,其中,基准元件是白色基准板。
3.根据权利要求1所述的测量装置,其中,所述光谱反射率信息是指示测量目标的光谱反射率的信息。
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