[发明专利]多区加热器中的温度测量

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包括：

具有用于支撑基板的上表面的基板支撑主体；

自所述基板支撑主体的背侧延伸的支撑轴，其中所述支撑轴可沿一纵向轴移动以移动所述基板支撑主体；以及

具有用于接触所述基板支撑主体的所述背侧的尖端的传感器柱，其中所述传感器柱可与所述支撑轴同步移动以维持所述尖端与所述基板支撑主体的所述背侧之间的接触，其中所述传感器柱还包括附接于所述尖端的保护管、围绕所述保护管的内波纹管以及围绕所述内波纹管的外波纹管。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其中所述基板支撑主体包括用于在其中加热所述基板的一个或更多个加热器，及所述传感器柱包括安置于所述尖端中的用于测量所述基板支撑主体的温度的温度传感器。

3.如权利要求1所述基板支撑组件，其中所述传感器柱包括：

用于接触所述基板支撑主体的所述背侧的所述尖端；

安置于所述尖端附近的传感器；以及

其中所述保护管具有第一端及第二端，所述第一端附接于所述尖端，所述保护管被安置成使得连接所述第一端及所述第二端的线平行于所述支撑轴的所述纵向轴，及所述保护管的内容积中安放所述传感器的连接器。

4.如权利要求3所述的基板支撑组件，其中所述内波纹管的第一端在与所述保护管的所述第二端相邻处附接于所述保护管，及当所述内波纹管的第二端相对于所述内波纹管的所述第一端移动时，所述内波纹管施加力以向所述基板支撑主体的所述背侧弹压所述保护管。

5.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述内波纹管的所述第二端与所述外波纹管连接，及所述外波纹管被安置成向所述内波纹管、所述保护管及所述尖端提供密封环境。

6.如权利要求5所述的基板支撑组件，进一步包括：

平行于所述支撑轴安置的一个或更多个额外传感器柱，其中所述一个或更多个额外传感器柱中的每一个包括：

用于接触所述基板支撑主体的所述背侧的尖端；

安置于该尖端附近的传感器；以及

附接于该尖端的保护管。

7.如权利要求6所述的基板支撑组件，其中所述传感器柱中的每一个被安置成接触所述基板支撑主体的不同径向位置。

8.如权利要求7所述的基板支撑组件，进一步包括：一个或更多个额外内波纹管，且所述额外内波纹管中的每一个围绕并附接于所述一个或更多个额外传感器柱的所述保护管中的每一个。

9.如权利要求8所述的基板支撑组件，进一步包括：一个或更多个额外外波纹管，且所述额外外波纹管中的每一个围绕并连接所述额外内波纹管中的每一个。

10.如权利要求3所述的基板支撑组件，其中所述尖端及所述保护管是一整体主体，所述保护管的所述第一端封闭以形成所述尖端，在所述尖端内部形成传感器井，所述传感器井对着所述保护管的所述内容积形成开口以收纳所述传感器。

11.如权利要求3所述的基板支撑组件，其中尖端被结合至所述保护管的所述第一端，所述尖端由第一材料形成，所述保护管由第二材料形成，及所述第一材料比所述第二材料具有更高的导热性。

12.如权利要求11所述的基板支撑组件，其中所述尖端包括传感器井，所述传感器井对着所述保护管的所述内容积形成开口以收纳所述传感器。