[发明专利]感光性树脂组合物、使其热固化而成的保护膜或绝缘膜、使用其的触摸面板及其制造方法在审
| 申请号: | 201480008215.6 | 申请日: | 2014-01-22 |
| 公开(公告)号: | CN104981737A | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
| 发明(设计)人: | 谷垣勇刚;藤原健典;诹访充史;福原将 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/075 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;李照明 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 固化 保护膜 绝缘 使用 触摸 面板 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物、使其热固化而成的保护膜或绝缘膜、使用其的触摸面板及其制造方法。
背景技术
近年来,随着智能型手机、平板终端的普及,电容式触摸面板受到瞩目。电容式触摸面板的传感器基板一般是在玻璃上具有将ITO(Indium Tin Oxide,铟锡氧化物)或金属(银、钼或铝等)图案化了的配线,另外,在配线的交叉部具有绝缘膜、保护ITO及金属的保护膜的结构是常见的。一般多数情况下,保护膜由高硬度的无机系SiO2或者SiNx或感光性透明材料等形成(专利文献1),绝缘膜由感光性透明材料形成。但是,无机系材料存在如下课题:由于将SiO2、SiNx通过CVD(Chmial Vapor Deposition,化学气相沉积)进行高温制膜而形成,并且进行使用抗蚀剂的图案加工,所以工艺数增加等,制造成本变高。进而,缺乏耐湿热性,基底的金属配线发生腐蚀等,无法得到可靠性高的触摸面板。
关于感光性透明材料,虽然能预期通过工艺数的减少而削减成本,但硬度不充分,并且与无机系材料同样地耐湿热性低,在可靠性试验中,存在基底的金属配线发生腐蚀等问题。进而,同样地在可靠性试验中,也要求抑制因人工汗溶液的浸入所造成的基底的金属配线的腐蚀。
由感光性透明材料得到的固化膜暴露在用于加工ITO、基底的金属配线的蚀刻液等酸性或碱性的各种试剂液中,若固化膜的耐化学药品性低,则在固化膜与基底的金属配线或基板之间的界面发生剥落、浮起,成为ITO断线等的原因。另外,由感光性透明材料得到的固化膜,在ITO的成膜时暴露于高真空状态,若对于真空的耐性低,则因来自固化膜的脱气等而使固化膜变质,成为与基板的密合性降低的原因。
进而,若将感光性透明材料的涂液在室温下保存,则也存在在保存中材料变质,与基板的密合性降低这样的课题。因此,强烈需求高硬度,透明性、耐湿热性、人工汗耐性、密合性、耐化学药品性及真空耐性优异,可在碱性显影液中进行图案加工,且涂液的保存稳定性良好并且在保存中密合性不会降低的感光性透明材料。
为了改善如上所述的问题点,开发了含有多官能环氧化合物的感光性透明材料(专利文献3)、含有锆化合物之类的金属螯合化合物的感光性透明材料(专利文献4)、含有具来源自马来酰亚胺的结构的丙烯酸系树脂的感光性透明材料(专利文献5)或含有三嗪化合物的感光性透明材料(专利文献6)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2007-279819号公报
专利文献2:日本特开2006-30809号公报
专利文献3:日本特开2010-24434号公报
专利文献4:国际公开第2011/129210号
专利文献5:日本特开2003-192746号公报
专利文献6:日本特开2010-128275号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而,现状是满足得到的固化物为高硬度,透明性、耐湿热性、人工汗耐性、密合性、耐化学药品性及真空耐性优异,可在碱性显影液中进行图案加工,且涂液的保存稳定性良好并且在保存中密合性不会降低这样的所有要求的感光性透明材料完全是未知的。
因此,本发明的目的在于提供一种能够碱性显影的感光性树脂组合物,其同时具有可得到高硬度,透明性、耐湿热性、人工汗耐性、密合性、耐化学药品性及真空耐性优异的固化膜,且涂液的保存稳定性良好,在保存中密合性不会降低等性能。
用于解决课题的技术方案
本发明提供一种感光性树脂组合物,含有(A)丙烯酸系树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)金属螯合化合物、及(E)溶剂的感光性树脂组合物,所述(A)丙烯酸系树脂具有特定结构的源自马来酰亚胺的结构。
发明效果
根据本发明的感光性树脂组合物,可得到高硬度,透明性、耐湿热性、人工汗耐性、密合性、耐化学药品性及真空耐性优异的固化膜。另外,根据本发明的感光性树脂组合物,可制备保存稳定性良好且在保存中密合性不会降低的涂液。
附图说明
图1为表示触摸面板部件的制造过程的概略俯视图。
图2为表示触摸面板部件的概略剖面图。
附图标记说明
a:透明电极形成后的俯视图
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