[发明专利]用于MEMS光调制器的不对称行程

权利要求书

1.一种机电装置，其包括：

第一致动器，

第二致动器，及

主体，其耦合于所述第一致动器与所述第二致动器之间，所述主体可在第一位置、第二位置及所述第一位置与所述第二位置之间的中性位置之间移动，且

其中所述中性位置与所述第一位置之间的第一距离大于所述中性位置与所述第二位置之间的第二距离。

2.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述主体远离所述第一致动器移动所述第一距离且朝着所述第一致动器移动所述第二距离。

3.根据权利要求2所述的机电装置，其进一步包括孔径及光源，其中在所述第一位置中，所述主体容许来自所述光源的光穿过所述孔径，且在所述第二位置中，所述主体至少部分阻挡来自所述光源的光穿过所述孔径。

4.根据权利要求3所述的机电装置，其中在所述中性位置中，所述主体至少部分阻挡光穿过所述孔径。

5.根据权利要求3所述的机电装置，其中所述主体在从所述中性位置移动到所述第一位置时比在从所述中性位置移动到所述第二位置时相对于所述孔径行进更大距离。

6.根据权利要求1所述的机电装置，其中用于将所述主体从所述第二位置移动到所述第一位置的时间大于用于将所述主体从所述第一位置移动到所述第二位置的时间。

7.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述第一致动器包含：

第一柔性电极，其连接于所述主体与第一组锚之间，及

第一电极，其与所述第一柔性电极相对且连接到第一电极锚，

且所述第二致动器包含：

第二柔性电极，其连接于所述主体与第二组锚之间，及

第二电极，其与所述第二柔性电极相对且连接到第二电极锚，且其中所述第二柔性电极与所述第二电极锚之间的距离大于所述第一柔性电极与所述第一电极锚之间的距离。

8.根据权利要求7所述的机电装置，其中所述第二柔性电极的长度大于所述第一柔性电极的长度。

9.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述主体包含快门。

10.根据权利要求9所述的机电装置，其进一步包括衬底，其中所述快门横向于所述衬底移动。

11.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述第一致动器及所述第二致动器包含静电致动器。

12.根据权利要求1所述的机电装置，其进一步包括：

呈像素布置于显示器中的第一致动器、第二致动器及主体的阵列，所述主体耦合于所述相应第一致动器与第二致动器之间；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

13.根据权利要求12所述的机电装置，其中所述显示器的孔径比大于具有等于所述第二距离的所述第一距离的显示器。

14.根据权利要求12所述的机电装置，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一信号发送到所述显示器；及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

15.根据权利要求12所述的机电装置，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器及发射器中的至少一者。

16.根据权利要求12所述的机电装置，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传达到所述处理器。

17.根据权利要求1所述的机电装置，其进一步包括：

控制矩阵，其经布置以将第一电压施加到所述第一致动器且将第二电压施加到所述第二致动器，所述第一电压不同于所述第二电压。

18.一种设备，其包括：

第一致动器装置及第二致动器装置，其用于移动耦合于所述第一致动器装置与所述第二致动器装置之间的光调制装置，所述光调制装置可在第一位置、第二位置及所述第一位置与所述第二位置之间的中性位置之间移动，且

其中在所述中性位置与所述第一位置之间移动所述光调制装置的第一距离大于在所述中性位置与所述第二位置之间移动所述光调制装置的第二距离。