[发明专利]研磨物的制造方法无效
| 申请号： | 201480003235.4 | 申请日： | 2014-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN104822491A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 北村和正;长江智毅 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国爱知县名*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨物的制造方法，其是研磨被研磨物，来制造研磨物的方法，
其特征在于，包含磨削工序，所述磨削工序是利用以10m/s以下的圆周速度旋转的砂轮磨削所述被研磨物的表面。
2.如权利要求1所述的研磨物的制造方法，其特征在于，在所述磨削工序中，利用以0.5m/s以上的圆周速度旋转的砂轮磨削所述被研磨物的表面。
3.如权利要求1或2所述的研磨物的制造方法，其特征在于，在所述磨削工序中，磨削作为被研磨物的氧化铝、蓝宝石、碳化硅以及氮化镓的表面。
4.如权利要求1～3中任一项所述的研磨物的制造方法，
其特征在于，包含使用磨粒研磨所述磨削后的所述被研磨物的研磨工序。
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