[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及磁力传动技术领域，尤其是一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置。

背景技术

目前，在真空磁控溅射镀膜设备中，装载玻璃的基片架小车传动要求平稳，加减速良好，并且和真空腔体之间有着良好的绝缘。在国产或进口设备中，早期的设备比较普遍的采用的是齿轮传动，小车直接和导轨接触。在经过缓冲腔室的时候，导轮和导轨之间的距离、垂直度、平行度、传动精度很难调整，并且直接接触形成摩擦致齿轮齿条、导轨和小车滑动轮都容易磨损。小车在运行过程中平稳性很差，前进方式是通过齿轮和齿条硬接触，没有减震，运行时容易抖动，震动。另外当轨道发生偏斜时小车易脱轨，导致小车撞坏其他腔体内部的设备部件，造成比较严重的后果。小车在靶材溅射区域直接和腔体连接，没有形成绝缘隔离，造成靶材在溅射过程中容易打弧、跳靶，影响设备的稳定性。造成生产产品合格率低下，产品质量较差。

鉴于上述原因，现有的真空磁控溅射镀膜传动装置的结构需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，结构简单，设计合理，操作方便，制造成本低，运行效果显著，提高了工作效率，提升了产品质量，适用于真空磁控溅射镀膜设备连续基片流，提升了小车在真空室内运行的平稳性能、加减速性能、绝缘性能、显著提高了生产产品的质量、提高生产产量、合格率，对优化工艺有着明显的改善，有效降低了设备的故障率，在真空磁控镀膜设备中属于高端设备的技术改革。

本实用新型为了实现上述目的，采用如下技术方案：一种真空磁控溅射镀膜磁悬浮传动装置，是由：车体、上绝缘块、一号磁靴、倒U形磁铁护套、强磁N极、下绝缘座、传动导向杆、传动系统传动轮、T形磁铁护套、强磁S极、二号磁靴、螺钉构成；车体上方设置至少五个上绝缘块，下方设置至少五个下绝缘座，上绝缘块的上方与倒U形磁铁护套之间设置一号磁靴，倒U形磁铁护套内设置强磁N极，下绝缘座下方设置传动导向杆，传动导向杆下方与传动系统传动轮对应设置；倒U形磁铁护套上方设置T形磁铁护套，T形磁铁护套与倒U形磁铁护套之间预留磁场作用空间，T形磁铁护套内设置强磁S极，T形磁铁护套上方设置二号磁靴，T形磁铁护套通过螺钉固定在二号磁靴上，二号磁靴设置在真空腔室顶部。所述的上绝缘块的剖面为H形，上绝缘块的上下方分别构成上卡槽与下卡槽，下卡槽与车体上方对应设置，上卡槽与一号磁靴的下方对应设置。

所述的T形磁铁护套内设置磁铁空腔，磁铁空腔内设置强磁S极；倒U形磁铁护套内设置磁铁空腔，磁铁空腔内设置强磁N极，倒U形磁铁护套内的强磁N极与一号磁靴的上方对应设置。

所述的下绝缘座的上方设置上卡槽，下方设置弧形凹槽，上卡槽与车体下方对应设置，弧形凹槽与传动导向杆对应设置。

所述的T形磁铁护套与倒U形磁铁护套位于同一垂直线上。

所述的T形磁铁护套内的强磁S极垂直于二号磁靴。

所述的强磁N极采用3200-4500高斯的钐钴磁铁，强磁S极采用3800-5000高斯的钐钴磁铁。

本实用新型的有益效果是：本实用新型车体上下方的上绝缘块和下绝缘座使车体与真空室绝缘达到与阴、阳极绝缘，T形磁铁护套内的强磁S极与倒U形磁铁护套内的强磁N极产生相互的吸引力，使车体向上处于悬浮状态，同时，强磁S极和强磁N极的磁铁顽校力相抵消后，使强磁S极和强磁N极避免吸在一起，传动导向杆与传动系统传动轮摩擦接触，摩擦力为车体的重力减去向上的吸力，车体随着传动系统传动轮的转动向前平稳运行。