[实用新型]芯片分检装置有效
| 申请号: | 201420844902.9 | 申请日: | 2014-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN204257605U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 王鹏;王毅;李运金 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 葛军 |
| 地址: | 225008 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及芯片分向点测领域,尤其涉及芯片分检装置。
背景技术
目前,对于切割后芯片进行点测是一种常规的检测手段,但由于切割后芯片方向的不可控性(正、负极性),对此,操作人员通过镊子或测试笔,调整芯片的方向,从而达到统一的效果,然而,操作人员的随机操作存在对芯片的损伤,操作性差不易作业,从而造成测试过程中材料失效的隐患。
实用新型内容
本实用新型针对以上问题,提供了一种结构简单,方便操作,提高工作效率的芯片分检装置。
本实用新型的技术方案是:包括基板和底板,所述基板上均布设有若干芯片分向槽,所述芯片分向槽为上大下小的通槽,
所述底板的顶面中心设有上大下小的阶梯槽,所述基板适配地设在所述底板的阶梯槽的大阶梯槽内,所述基板的高度小于所述底板的阶梯槽的大阶梯槽的高度,所述底板的顶面设有芯片导出口,所述芯片导出口位于所述底板的阶梯槽的大阶梯槽的一侧,所述芯片导出口的底面和所述基板的顶面位于同一平面;
所述芯片分向槽连通所述底板的阶梯槽的小阶梯槽,所述底板的阶梯槽的小阶梯槽通过气孔连通负压源。
所述基板和底板为铜板,所述基板的顶面设有铜导柱。
本实用新型将基板放置在底板的大阶梯槽内,通过气孔连通负压源,将芯片倒入基板上的芯片分向槽,水平晃动,将芯片均匀分布于基板表面,倾斜基板,将多余芯片从芯片导出口倒出,将测试线与基板相连,并同测试笔对芯片进行点测,操作性好、使用效果佳。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图,
图2是图1的俯视图,
图3是本实用新型中基板的结构示意图;
图中1是基板,10是芯片分向槽,2是底板,20是阶梯槽,200是大阶梯槽,3是芯片导出口,4是气孔,5是铜导柱。
具体实施方式
本实用新型如图1-3所示,包括基板1和底板2,所述基板1上均布设有若干芯片分向槽10,所述芯片分向槽10为上大下小的通槽,
所述底板2的顶面中心设有上大下小的阶梯槽20,所述基板1适配地设在所述底板的阶梯槽20的大阶梯槽200内,所述基板1的高度小于所述底板的阶梯槽的大阶梯槽200的高度,所述底板2的顶面设有芯片导出口3,所述芯片导出口3位于所述底板的阶梯槽的大阶梯槽的一侧,所述芯片导出口3的底面和所述基板1的顶面位于同一平面;
所述芯片分向槽10连通所述底板的阶梯槽20的小阶梯槽,所述底板2的阶梯槽的小阶梯槽通过气孔4连通负压源。本实用新型可以对芯片进行分向,并将芯片等间距分布,便于点测。
所述基板1和底板2为铜板,所述基板1的顶面设有铜导柱5。基板、底板均为铜材质,便于实现导电测试,基板可通过测试夹与测试机相连,并实现测试功能。设置铜导柱,一方便,便于拿取基板,另一方便,便于通过铜导柱连接测试机,方便操作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





