[实用新型]一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构有效

专利信息
申请号: 201420842962.7 申请日: 2014-12-23
公开(公告)号: CN204342923U 公开(公告)日: 2015-05-20
发明(设计)人: 李杰;谈建岭;史俊杰 申请(专利权)人: 常州爱晶光电设备有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D1/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 橡胶 水层 晶体生长 设备 体壁 水道 结构
【权利要求书】:

1.一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,包括设有抽气口的炉体,其特征在于,所述炉体通过内壁和外壁构成一水道层,所述水道层中固定安置有复数条隔板;所述每条隔板分别由橡胶隔水层和不锈钢隔水板组合构成。

2.根据权利要求1所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述橡胶隔水层的宽度略宽于不锈钢隔水板的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述复数条隔板在内部与外壁之间螺旋环布,在炉体壁内形成螺旋向上的水道。

4.根据权利要求1或2所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述炉体一侧壁设有出水口。

5.根据权利要求1或2所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述炉体的底部设有进水口。

6.根据权利要求1或2所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述炉体顶部设有炉体上法兰。

7.根据权利要求1或2所述的带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构,其特征在于,所述炉体底部设有炉体下法兰。

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