[实用新型]一种平面靶材绑定整平装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平面靶材绑定整平装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造技术领域。

背景技术

 平面靶材是将靶材绑定在铜背板上，从而形成能实现溅射加工的靶材原料，而平面靶材原料的生产及加工过程中，主要难点在于靶材与铜背板之间的绑定，怎样确保靶材与铜背板之间不会出现缝隙或气泡等，若出现缝隙或气泡现象直接影响靶材的质量，造成不合格。

目前，现有靶材绑定在铜背板的整平结构一般采用铁块施压，极易将靶材表面造成划痕，令靶材本体受到损伤，同时铁块重量大，人工搬运非常费力。

由此，本发明人考虑对现有的平面靶材绑定整平的结构进行改进，本案由此产生。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种平面靶材绑定整平装置，其有效实现平面靶材的整平，确保其内部不会出现气泡等现象，从而确保靶材的质量。

为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。

进一步，所述施压架包括横杆及施压杆，所述横杆一端固定在钩状架上，该横杆另一端连接有所述施压杆，该施压杆为压力调节杆。

进一步，所述施压杆的圆周侧面设置有外螺纹，该施压杆套设在横杆另一端的端孔内，而该端孔为带有内螺纹的通孔，所述施压杆与端孔配合形成可调节施压力度的旋转结构。

进一步，所述施压杆上端还穿射一横向设置的手柄杆，形成带动施压杆在端孔旋转调节的手柄结构。

进一步，所述绑定架的数量为至少一个，该绑定架的数量要根据附着有靶材的铜背板设置。

进一步，所述整平块下方还设置有缓冲结构，用以在施压过程中的缓冲，有效避免靶材因压力过大而被刮伤或损坏。

进一步，所述缓冲结构为纸板。

与现有技术相比较，本实用新型的优点：

本实用新型将绑定架及整平块配合，实现施压的力度调节，从而在确保靶材与铜背板之间不会出现气泡等现象的同时还能保证靶材本体不会受到损坏，进而提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

本实用新型所述的一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例：请参阅图1所示，一种平面靶材绑定整平装置，其包括绑定架1及整平块2。

请参阅图1所示，前述整平块2放置在附着有靶材的铜背板A且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体。所述整平块2下方还设置有纸板3形成的缓冲结构，用以在施压过程中的缓冲，有效避免靶材因压力过大而被刮伤或损坏。

请参阅图1所示，前述绑定架1的数量为至少一个，该绑定架1的数量要根据附着有靶材的铜背板A设置，每个绑定架1包括钩状架11、施压架12；其中钩状架11为呈直角弯折的杆体，所述钩状架11的钩状端伸入至平面桌B下并位于待施压整体下方，所述施压架12一端与钩状架11连接，该施压架12另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。

请参阅图1所示，前述施压架12包括横杆121及施压杆122，所述横杆121一端固定在钩状架11上，该横杆121另一端连接有所述施压杆122，该施压杆122为压力调节杆。所述施压杆122的圆周侧面设置有外螺纹，该施压杆122套设在横杆121另一端的端孔内，而该端孔为带有内螺纹的通孔，所述施压杆122与端孔配合形成可调节施压力度的旋转结构。所述施压杆122上端还穿射一横向设置的手柄杆123，形成带动施压杆在端孔旋转调节的手柄结构。

以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。