[实用新型]一种碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201420832198.5 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN204325549U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;宗艳民;王希杰;张志海 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B27/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅晶体生长装置，该装置包括生长腔体(2)，其特征在于：腔体(2)内设置有保温桶(1)，保温桶(1)外侧设置有感应线圈(3)，保温桶(1)内设置有坩埚(6)，生长腔体(2)上侧设置有籽晶轴升降旋转装置(9)，该装置下端设置有伸入坩埚(6)内的籽晶轴(11)，籽晶轴(11)下端连接有籽晶托架(8)；
其中所述的保温桶(1)下部连接有保温桶轴(4)，保温桶轴(4)穿出生长腔体(2)与生长腔体外部的保温桶轴旋转装置(5)连接；所述的保温桶顶部的桶盖上设置有允许籽晶轴和籽晶托架通过的通孔；
所述的籽晶托架(8)籽晶托架包括石墨板(12)和石墨手臂(13)，石墨手臂(13)固定连接在石墨板(12)下方，所述的石墨板(12)通过机械连接或者通过粘合剂与籽晶轴(11)固定连接，石墨手臂(13)下方有开口(14)。
2.根据权利要求1所述的生长装置，其特征在于：所述的石墨板(12)为正方形或圆形；所述石墨手臂(13)为L型结构或方柱型结构。
3.根据权利要求1所述的生长装置，其特征在于：所述开口(14)的高度大于籽晶(7)的厚度。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的籽晶轴(11)内设置有空腔(10)。
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